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马瑾
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102
被引量:391
H指数:14
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山东大学
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栾彩娜
山东大学物理学院
宗福建
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张锡健
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12篇
2004
4篇
2003
7篇
2002
5篇
2001
共
102
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二氧化锡纳米线的生长机理研究
被引量:1
2007年
使用水平石英管式电炉,以二氧化锡和石墨的混合物为原材料、高纯氮气为载气,在850℃温度下用直接热蒸发法制备二氧化锡纳米线.衬底硅片的直径为10mm,其上覆盖一层5nm厚的金催化剂.原材料放在石英舟中,离原材料30mm的下风口处放置硅衬底,原材料和硅衬底都放置在石英管的中部电炉的恒温区内.用扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)观察到二氧化锡的纳米线结构;X射线衍射(XRD)表明二氧化锡纳米线具有四方金红石结构;选区电子衍射(SAED)照片表明二氧化锡纳米线具有完善的晶体结构.不同生长时间下制备样品的扫描电子显微镜和透射电子显微镜照片再现了二氧化锡纳米线的生长过程,该纳米线的生长符合传统的VLS生长机制.
宗福建
李立君
崔晓东
马洪磊
马瑾
张锡健
计峰
肖洪地
关键词:
二氧化锡
纳米线
有机薄膜衬底 ITO 透明导电膜的制备及光电特性的研究
被引量:6
1998年
采用真空反应蒸发技术,在有机薄膜基片上制备出高质量的ITO透明导电薄膜,对薄膜的结构和光电特性进行了研究。制备的最佳薄膜在可见光范围的平均透过率达84%,电阻率为8.23×10-4Ωcm,载流子浓度为1.72×1020cm-3。
马瑾
李淑英
马洪磊
赵俊卿
叶丽娜
关键词:
ITO
透过率
电阻率
载流子浓度
蒸发制备ZnO薄膜的结构及光学电学特性的研究
被引量:11
1995年
以乙酸锌作为蒸发物质,采用真空蒸发技术,在加热的玻璃衬底上制备出高质量的ZnO透明导电薄膜,并对其结构、光学和电学特性进行了研究。
马瑾
计峰
马洪磊
李淑英
关键词:
氧化锌薄膜
透过率
电导率
锑掺杂对二氧化锡薄膜结构及发光性质的影响
被引量:8
2008年
采用射频磁控溅射方法在石英玻璃衬底上制备了SnO2∶Sb薄膜。所制备的薄膜为四方金红石结构的多晶薄膜。PL谱表明,样品在396、450、500nm附近存在室温光致发射峰,发光峰的起因分别与SnO2薄膜中的氧空位缺陷及掺杂所致的施主-受主对之间的跃迁以及电子由其激发态向基态能级跃迁等因素有关。
计峰
马瑾
马洪磊
关键词:
磁控溅射
光致发光
一种沿[101]晶向生长的金红石结构钽掺杂氧化锡单晶薄膜及其制备方法
本发明涉及一种沿[101]晶向生长的金红石结构钽掺杂氧化锡单晶薄膜及其制备方法。本发明采用有机金属化学气相淀积(MOCVD)技术,以四乙基锡(Sn(C<Sub>2</Sub>H<Sub>5</Sub>)<Sub>4</S...
栾彩娜
马瑾
何林安
文献传递
柔性衬底ITO导电膜的低温制备及特性研究
被引量:7
2000年
用真空反应蒸发技术在有机薄膜衬底上制备出ITO透明导电薄膜 ,对薄膜的低温制备 (80~ 2 4 0℃ )、结构和光电特性进行了研究。制备的薄膜为多晶膜 ,具有纯三氧化二铟的立方铁锰矿结构 ,最佳取向为 (111)方向。薄膜在可见光区的最低电阻率为 6 .6 3× 10 - 4Ω·cm ,透过率达到 82 %。
马瑾
赵俊卿
叶丽娜
田茂华
马洪磊
关键词:
柔性衬底
透明导电膜
ITO薄膜
采用射频磁控溅射法在Si(111)衬底上生长β-Ga2O3薄膜
采用射频磁控溅射法在Si(111)衬底上直接沉积β-Ga2O3薄膜。通过X射线衍射光谱(XRD),原子力显微镜(AFM)和傅立叶红外吸收光谱(FT-IR) 研究了β-Ga2O3薄膜的生长和结构与退火温度之间的关系。实验结...
肖洪地
马洪磊
杨光
马瑾
林兆军
宗福建
张锡健
栾彩娜
关键词:
射频磁控溅射
温度
文献传递
一种镓掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法
一种镓掺杂的氧化物透明导电薄膜材料的制备方法,属于光电子信息功能材料技术领域。在ZnO薄膜中进行镓掺杂,用偏压射频磁控溅射技术在真空条件下,在有机聚合物薄膜衬底上室温制备出具有多晶结构的ZnO:Ga透明导电膜,溅射用陶瓷...
马瑾
文献传递
一种高迁移率铌掺杂氧化锡单晶薄膜的制备方法
本发明涉及一种高迁移率铌掺杂氧化锡单晶薄膜的制备方法。该方法包括采用MOCVD法,以四乙基锡和乙醇铌为金属有机源,以氧气为氧化气体,氮气作为载气,在真空条件下在氟化镁衬底上生长铌掺杂氧化锡单晶薄膜。该氧化锡薄膜是具有单晶...
栾彩娜
马瑾
何林安
铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜的电学性质研究
被引量:11
1995年
真空蒸发醋酸锌和氯化铝,在加热的玻璃基片上制备出铝掺杂的氧化锌透明导电薄膜。研究了薄膜的结构和电导率随掺杂功率的变化以及真空退火处理对薄膜电导率的影响。
马瑾
计峰
马洪磊
李淑英
关键词:
AZO薄膜
氧化锌
氯化铝
电导率
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