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陶永康
作品数:
15
被引量:12
H指数:2
供职机构:
清华大学
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相关领域:
机械工程
交通运输工程
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合作作者
董景新
清华大学机械工程学院精密仪器与...
刘云峰
清华大学
刘云峰
清华大学机械工程学院精密仪器与...
徐哲
清华大学
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2013
1篇
2012
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一种用于芯片的封装结构
本发明的用于芯片的封装结构,包括壳体和密封设置在所述壳体上的盖体,在所述壳体的底壁设有用于放置所述芯片的芯片区;其中,在所述芯片区设有用于固定所述芯片的粘片台,以及相对于所述粘片台凹陷的非粘片面。在粘接的过程中,粘胶点的...
董景新
徐哲
刘云峰
陶永康
文献传递
一种微机械加速度计
本发明公开了一种微机械加速度计,其包括:基片,在基片上固定设置有第一配合体;连接件;多个敏感体,多个敏感体各自通过相应的连接件与基片相连;其中,多个连接件的刚度彼此不相同,使得各个敏感体能测量不同范围内的加速度。本发明提...
陶永康
刘云峰
董景新
文献传递
一种加速度计
本发明公开了一种加速度计,包括基片和固定在基片上的加速度计主体,而加速度主体包括若干并联的敏感单元,其中,敏感单元包括:质量块,其纵向两端通过弹性件与基片固接,弹性件设置在质量块的纵向两端,其第一端与基片固接;设置在质量...
陶永康
刘云峰
董景新
文献传递
微机械加速度计抗冲击能力的霍普金森杆实验测试方法
微机械加速度计抗冲击能力的应用需求日益提高。设计分析了霍普金森杆的冲击实验技术,通过改变压杆布置方式和调节缓冲垫片,整形得到幅值几千g、脉宽200~500μs左右的半正弦波冲击信号。利用搭建的测试系统进行了一种定齿偏置梳...
陶永康
刘云峰
董景新
关键词:
微机械加速度计
抗冲击
文献传递
一种微机械加速度计
本发明公开了一种微机械加速度计,其包括:基片,在基片上固定设置有第一配合体;连接件;多个敏感体,多个敏感体各自通过相应的连接件与基片相连;其中,多个连接件的刚度彼此不相同,使得各个敏感体能测量不同范围内的加速度。本发明提...
陶永康
刘云峰
董景新
大量程微机械加速度计非线性的弱闭环修调
被引量:2
2013年
大量程微机械加速度计在制导炮弹等大动态武器的组合导航系统上具有重要的应用需求。开环工作的大量程微机械加速度计由于敏感单元的大变形,支撑梁机械刚度的非线性、差动电容器的非线性以及电容检测电路的非线性等会造成较大的全量程测量误差。设计提出一种利用静电力进行弱闭环修调的简单方法,改善大量程加速度计的非线性,有利于提高其测量精度和动态范围。Simulink仿真和原理性验证实验证明了该方法的有效性。基于该弱闭环修调的方法研制了一种单5 V供电的大量程微机械加速度计,其分辨率优于2 mg,2 h偏置稳定性5 mg,±200g范围内的非线性度为0.68%。
陶永康
刘云峰
董景新
关键词:
微机械加速度计
大量程
非线性
一种加速度计
本发明公开了一种加速度计,包括基片和固定在基片上的加速度计主体,而加速度主体包括若干并联的敏感单元,其中,敏感单元包括:质量块,其纵向两端通过弹性件与基片固接,弹性件设置在质量块的纵向两端,其第一端与基片固接;设置在质量...
陶永康
刘云峰
董景新
文献传递
三轴硅微加速度计
本实用新型涉及一种三轴硅微加速度计,包括第一敏感组件与第二敏感组件;所述第一敏感组件包括第一敏感单元与第二敏感单元,所述第一敏感单元的敏感方向与所述第二敏感单元的敏感方向正交设置;所述第二敏感组件包括第三敏感单元与第四敏...
刘云峰
陶永康
夏澎波
文献传递
硅微机械加速度计
本发明提出一种硅微机械加速度计,包括:敏感装置、第一支撑梁、应力缓冲装置、第二支撑梁、键合锚区和基底,其中,敏感装置通过第一支撑梁与应力缓冲装置相连;应力缓冲装置通过第二支撑梁与键合锚区相连;键合锚区与基底键合连接。本发...
陶永康
刘云峰
董景新
文献传递
三轴硅微加速度计
本发明涉及一种三轴硅微加速度计,包括第一敏感组件与第二敏感组件;所述第一敏感组件包括第一敏感单元与第二敏感单元,所述第一敏感单元的敏感方向与所述第二敏感单元的敏感方向正交设置;所述第二敏感组件包括第三敏感单元与第四敏感单...
刘云峰
陶永康
夏澎波
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