陈彪
- 作品数：3 被引量：15H指数：2
- 供职机构：上海第二工业大学城市建设与环境工程学院环境工程系更多>>
- 发文基金：上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：化学工程轻工技术与工程电子电信更多>>
- 导向剂加入方式对Y型沸石合成的影响被引量：8
- 2008年
- 以煤系高岭土为原料,采用液态补硅手段调节体系SiO2/Al2O3、导向剂两步加入法合成了Y型沸石。考察了导向剂不同加入方式对Y型沸石合成的影响。采用合理的导向剂两步加入法,特别是通过控制导向剂第二步加入的时间,可明显缩短Y型沸石的晶化时间,并有效地减少P型沸石的生成。
- 田震解丽丽陈彪袁昊李庆华
- 关键词：煤系高岭土导向剂Y型沸石
- 洗涤剂助剂的应用及研究进展被引量：5
- 2008年
- 综述了洗涤剂助剂的研究进展。重点介绍了沸石类助剂包括4A和P型沸石的结构、钙镁离子交换性能、交换速度和液体携带量等,并与X及AX型沸石及其它类型的洗涤剂助剂进行了比较。分析对比表明,沸石类助剂对洗涤剂性能的提高及生产工艺的改善具有明显的优势,特别是有较好离子交换性能的MAP型沸石及较高液体携带量的AX型沸石有更加广阔的应用前景。
- 田震李庆华解丽丽王利军陈彪
- 关键词：洗涤剂助剂沸石
- 等离子体工艺引起栅氧化膜损伤的分析被引量：2
- 2005年
- 目前在大规模集成电路制造中,IC生产已经进入深亚微米和超深亚微米工艺时代。随着MOS尺寸的不断缩小,等离子体工艺已经成为主流。等离子体工艺引起的栅氧化膜损伤越来越受重视,它可以使MOS器件的各种电学参数发生变化,从而影响器件的性能。本文讨论了等离子体工艺损伤的形成机理、充电损伤和辐射损伤两种损伤模式及减少等离子损伤的几种措施。最后提出了目前有待于进一步研究的问题。
- 陈彪陈爱兰
- 关键词：MOS
