郭茂香
- 作品数：6 被引量：12H指数：2
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省高等学校优秀青年学术带头人支持计划项目更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信更多>>
- 硅基高深宽比结构静电式MEMS电容器制造与性能测试研究
- 微小型、长寿命、高可靠、高性能的微能源器件是实现储能系统中信息化、智能化、集成化与微型化的重要发展趋势和共性核心技术之一。然而，当前智能微能源存在的关键问题是智能系统中微小型器件装备的功能越来越强大、体积越来越小，对所需...
- 郭茂香
- 关键词：MEMS静电式深反应离子刻蚀
- 一种基于三维硅微结构的MEMS电容器及其制造方法
- 本发明涉及电容器及其制造技术，具体是一种基于三维硅微结构的MEMS电容器及其制造方法。本发明解决了现有MEMS微型电容器抗过载能力低、容量体积比小、环境适应性差、以及可靠性差的问题。一种基于三维硅微结构的MEMS电容器包...
- 丑修建熊继军陈旭远张文栋穆继亮郭茂香朱平
- 文献传递
- 高深宽比硅基微纳结构制造方法及其应用被引量：6
- 2013年
- 三维高深宽比硅基结构是基于微纳制造技术的功能载体或执行机构。其由于小尺寸特征而获得特殊的微纳效应,具有灵敏度高、分辨率高、噪声低、位移量小等特点,在光电、生物、微能源和集成互连等技术领域具有广泛应用前景。主要分析了高深宽比硅基微纳结构的种类及特点;系统综述了该结构的制造方法及国内外研究现状;详细描述了不同外形特征结构的应用领域;从工艺标准、建模仿真、批量生产等方面讨论了高深宽比硅基微纳结构制造存在的技术瓶颈问题,并对高深宽比硅基微纳结构的可靠制造与发展趋势进行了展望。
- 穆继亮郭茂香刘冰陈东红丑修建熊继军
- 关键词：纳机电系统高深宽比硅微结构刻蚀技术
- MEMS超级电容器研究进展被引量：2
- 2012年
- 基于微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术的微型超级电容器是一种以微纳米结构形式实现储能的微型能量存储器件,具有高比容量、高储能密度和高抗过载能力等特点,在MEMS微电源系统、引信系统以及物联网等技术领域具有广泛的应用前景。分析了超级电容器的基本原理和种类,系统综述了MEMS超级电容器的国内外研究现状,重点讨论了基于MEMS加工技术的超级电容器制造方法和优势,从材料、结构设计、加工工艺方面分析了MEMS超级电容器存在的技术瓶颈问题,并展望了其未来的发展趋势和应用需求。
- 郭茂香丑修建穆继亮郭涛熊继军
- 关键词：微机电系统超级电容器
- 基于Pspice的超级电容器宏模型建立及仿真分析被引量：2
- 2013年
- 超级电容器宏模型的建立为其应用设计开发提供了便捷有效的计算机辅助研究手段,对节约项目研发成本和缩短研发周期有着重要意义。笔者采用Pspice电子电路仿真软件,以超级电容器的元件标称参数及其电学等效模型为基本构架,提出一种效果显著且在技术上易于实现的超级电容器建模方法。实验结果表明,该模型具有良好的拟合度,恒流充电阶段时域仿真与实测结果偏差小于10%,能够充分模拟出超级电容器的等效性能和储能特性,可用于各种类型超级电容器的仿真研究,为超级电容器的实际应用提供可靠的数据支持。
- 鲍爱达关新锋郭茂香丑修建熊继军
- 关键词：超级电容器宏模型PSPICE仿真
- 硅基高深宽比静电式MEMS电容器制造关键技术研究
- 微小型、长寿命、高可靠、高性能的微能源器件是实现储能系统中信息化、智能化、集成化与微型化的重要发展趋势和共性核心技术之一。然而，当前智能微能源存在的关键问题是智能系统中微小型器件装备的功能越来越强大、体积越来越小，对所需...
- 郭茂香
- 关键词：电容器电学特性
- 文献传递
