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文献类型

  • 5篇中文专利

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 4篇氢气
  • 4篇氢气纯化
  • 2篇原料气
  • 2篇三氯氢硅
  • 2篇氢气生产
  • 2篇氢气提纯
  • 2篇脱氯
  • 2篇还原炉
  • 2篇缓冲罐
  • 1篇制造装置
  • 1篇色谱
  • 1篇色谱柱
  • 1篇外延片
  • 1篇流量控制阀
  • 1篇煤气
  • 1篇进样
  • 1篇进样阀
  • 1篇控制阀
  • 1篇焦炉
  • 1篇焦炉煤气

机构

  • 5篇中国科学院

作者

  • 5篇徐恒泳
  • 5篇董恩宁
  • 3篇侯守福
  • 3篇唐春华
  • 3篇孙剑
  • 2篇孟繁琼
  • 1篇于晓东
  • 1篇李安琪
  • 1篇邵炜

年份

  • 3篇2014
  • 2篇2012
5 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
一种在线超纯氢分析装置
本实用新型公开了一种在线超纯氢分析装置,该装置包括样品气切换阀、切换进样阀、进样阀、分析色谱柱、检测器等组成,可以对超纯氢生产过程中的原料气和产品气同时进行在线分析,检测范围大,可以覆盖从常量检测、微量检测到ppb级的痕...
徐恒泳孟繁琼唐春华董恩宁邵炜
一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法
一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法。采用两组串联的金属钯复合膜氢气纯化器,对三氯氢硅还原循环氢气进行提纯处理,其中第一组金属钯复合膜氢气纯化器相对较大,提纯处理的超纯氢气(H<Sub>2</Sub>纯度>99...
徐恒泳唐春华孙剑董恩宁侯守福
一种超纯氢气制造装置
本实用新型公开了一种超纯氢气制造装置,包括原料氢气缓冲罐,过滤器,流量控制阀,加热器,金属钯复合膜氢气纯化器,换热器,氢气储罐。原料氢气缓冲罐(11)的气体出口通过管路依次经过滤器(12)、流量控制阀(13)和加热器(1...
徐恒泳侯守福于晓东董恩宁孙剑
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一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法
一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环氢气提纯处理方法。采用两组串联的金属钯复合膜氢气纯化器,对三氯氢硅还原循环氢气进行提纯处理,其中第一组金属钯复合膜氢气纯化器相对较大,提纯处理的超纯氢气(H<Sub>2</Sub>纯度>99...
徐恒泳唐春华孙剑董恩宁侯守福
文献传递
一种从焦炉煤气重整气中提取高纯氢气的方法
本发明提供一种从焦炉煤气重整气中提取高纯氢气的方法,采用超高的透氢选择性金属钯复合膜氢气纯化器,在保证氢气高回收率条件下从焦炉煤气重整气中获得高纯氢。焦炉煤气重整气首先进入缓冲罐,然后进入压缩机升压后依次通过过滤器、电加...
徐恒泳孟繁琼董恩宁李安琪
文献传递
共1页<1>
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