盛世杰
- 作品数：3 被引量：8H指数：1
- 供职机构：上海理工大学光电信息与计算机工程学院更多>>
- 发文基金：上海市教育委员会重点学科基金国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程更多>>
- 基于数字微镜器件的三维轮廓测量及其性能分析被引量：8
- 2011年
- 研究提出了一种基于数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)的并行三维微-纳米轮廓测量方法。该方法将数字微镜器件与共焦测量方法相结合,用数字微镜器件及其控制器替代了传统共焦测量中的照明针孔和横向扫描机构,充分发挥DMD横向分辨率高,响应速度快,数字化以及便于计算机控制的优点,对传统共焦测量方法进行了结构上的改进,大大提高其扫描速度。一系列实验结果表明,数字微镜器件可以完全替代照明针孔,从而实现对样品表面快速,精确,大范围的三维测量。
- 许琦欣侯文玫盛世杰张运波沈丽艳
- 关键词：数字微镜器件
- 数字微镜器件在三维共焦检测系统中的应用
- 本文研究了数字微镜器件(DMD)在并行三维共焦检测系统中的应用。数字微镜器件是美国德州仪器公司开发的一种微机电系统，每一片XGA格式的DMD芯片上都集成了近百万片微反射镜。我们可以通过计算机来控制每一片微镜偏转±12度,...
- 盛世杰许崎欣侯文玫
- 关键词：共焦显微镜数字微镜
- 文献传递
- 数字微镜器件在三维共焦检测系统中的应用
- 本文研究了数字微镜器件（Digital Micromirror Device,简称DMD）在并行三维共焦检测系统中的应用。数字微镜器件是美国德州仪器公司开发的一种微机电系统。每一片XGA格式的DMD芯片上都集成了近百万片...
- 盛世杰许崎欣侯文玫
- 关键词：共焦显微镜数字微镜器件
- 文献传递
