王绍钧
- 作品数：11 被引量：8H指数：1
- 供职机构：山东工业大学电力工程学院自动化系更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 电子束偏放电路的计算机辅助设计被引量：1
- 1996年
- 本文介绍了应用现行的ＰＳＰＩＣＥＶ５．０软件和ＣＡＤ优化技术，对亚微米电子束曝光机高速偏放电路的ＶＭＯＳＦＥＴ参数进行处理。针对电路中的关键参数：导通电阻、开关速度、温度影响、灵敏度及噪声干扰进行分析、设计。
- 姚作宾高文洪王绍钧
- 关键词：电子束曝光机VMOSFETCAD功率放大器
- 光刻单元集的切割重组选择算法被引量：1
- 1995年
- 本文给出一个效率较高的算法。该算法，通过对ＶＬＳＩ设计图形的切割、重组和选择，建立光刻图形的单元图形集合──光该单元集。
- 王绍钧杨立才
- 关键词：集成电路VLSI光刻微细加工
- 一种平面区域的剖分被引量：1
- 1994年
- 本文提出一种图形剖分算法，可将任意条折线围成的平面区域，划分为一个互相不交的子域的集合。这种子域是ＬＳＩ掩模版加工设备可加工的。由此，ＬＳＩ掩模版图的设计，可避免受到加工设备的限制，使图样不论如何复杂，可以根据电路需要进行设计，从而保证电路性能。
- 王绍钧
- 关键词：集成电路
- 电子束曝光系统扫描场的畸变校正
- 1989年
- 根据平面区域变换的原理,导出电子束曝光机扫描场的畸变校正函数,并给出计算机模拟校正的结果。
- 王绍钧
- 关键词：电子束
- LSI版图曝光单元集的算法被引量：1
- 1995年
- 本文给出划分一种ＬＳＩ版图设计图形为曝光单元集的一个算法。该算法可同时获正、反两种曝光单元集，为曝光方式的选择提供了灵活性。
- 王绍钧
- 关键词：电子束曝光集成电路LSI版图
- LSIC凸多边形版图场分割数据处理的一种方法被引量：3
- 1998年
- 本文介绍了一种凸多边形版图场分割数据处理的方法 ,详细分析了凸多边形场分割数据处理的算法。
- 胡咏梅陈振生姚作宾王绍钧
- 关键词：版图电子束曝光机
- LSIC版图扫描场分割方式的研究被引量：1
- 1999年
- 对版图扫描场分割方式进行了研究，详细论述了ｍ ×ｎ Ｓ形扫描场分割方式和任意扫描场分割方式。
- 胡咏梅胡毅贾春娟王绍钧
- 关键词：版图集成电路
- 二维场的一个校正函数被引量：1
- 1994年
- 由数字-模拟系统控制的二维偏转场的畸变校正,是束(电子束、光子束等)微细加工的重要技术,其关键问题是如烘给出一个近似的校正函数,一般文献中多采用整式函数.实际的偏转场,不仅存在几烘象差引起的畸变、偏转系统的不对称性等原因,会形成各种畸变的叠加,所以需要校正的畸变往往是很复杂的.虽然如此,但由于畸变的总尺寸可以精确的测量,因此,本文用曲线坐标变换的原理描述畸变现象;依据测量的结果,用分离子场的数字校正法推演校正函数,结果是分式线性函数,较整式函数具有计算简单且运算误差小等优点.
- 王绍钧
- 关键词：微细加工校正函数
- 电磁场校正的子域变换和畸变速率补偿法
- 1996年
- 应用子域变换导出场的畸变函数，并给出畸变速率补偿法，以提高校正函数的逼近程度。
- 胡咏梅姚作宾王绍钧
- 关键词：电子束曝光
- 像差畸变及预校正映射被引量：1
- 1994年
- 本文根据磁偏转场畸变的物理原因，分析构造畸变及校正的映射函授，并给出校正电路的运算公式及公式的精度分析。
- 王绍钧
- 关键词：电子束曝光映射
