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王奕松

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电容式
  • 1篇电容式加速度...
  • 1篇微机电系统
  • 1篇响应曲面
  • 1篇响应曲面法
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇介质
  • 1篇机电系统
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇工艺参
  • 1篇工艺参数
  • 1篇高灵敏
  • 1篇高灵敏度
  • 1篇电系统

机构

  • 2篇北京大学

作者

  • 2篇王奕松
  • 1篇宋飞
  • 1篇王欣

传媒

  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
DRIE Footing效应模拟及工艺参数影响研究
本文在以前北大微电子研究院对高深宽比硅刻蚀模拟研究的基础上，对高深宽比硅刻蚀工艺中的Footing效应、主要DRIE工艺参数对模型参数的影响等问题进行了深入的研究。Footing效应是指高深宽比硅刻蚀进行到硅/氧化硅 (...
王奕松
关键词：响应曲面法工艺参数
一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计被引量：3
2005年
提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计．根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证输出电压与加速度之间的线性度．系统刚度可由静电力调节．为了提高电学灵敏度,在检测电容极板上设计高K介质层,增大了检测电容量,减小了杂散电容的影响．使用CoventorWare对本设计进行机械分析、力电耦合分析和模态分析,仿真结果与理论计算相吻合．加速度计使用简单的表面牺牲层工艺即可完成,具有很好的发展前景．
宋飞王欣王奕松陈兢
关键词：微机电系统电容式加速度计
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