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王培超

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
相关领域：电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 3篇微机械
  • 3篇微机械电子系...
  • 2篇电极
  • 2篇湿法刻蚀
  • 2篇热氧化
  • 2篇刻蚀
  • 2篇沟槽式
  • 2篇硅表面
  • 2篇槽式
  • 1篇整体性能
  • 1篇同位素
  • 1篇能源
  • 1篇能源领域
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇金属
  • 1篇金属铝
  • 1篇扩散层
  • 1篇PN结

机构

  • 5篇大连理工大学

作者

  • 5篇王培超
  • 4篇朴相镐
  • 4篇褚金奎
  • 1篇杜小振

传媒

  • 1篇功能材料与器...

年份

  • 1篇2010
  • 3篇2008
  • 1篇2007
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种沟槽式同位素微电池上电极的制作方法
本发明一种沟槽式同位素微电池上电极的制作方法，属于微机械电子系统中的微能源领域。采用SU8胶剥离工艺制作沟槽式同位素微电池的上电极，采用P型硅为衬底；在P型硅表面热氧化SiO<Sub>2</Sub>掩膜层；用掩膜版光刻，...
褚金奎朴相镐王培超
文献传递
一种沟槽式同位素微电池上电极的制作方法
本发明一种沟槽式同位素微电池上电极的制作方法，属于微机械电子系统中的微能源领域。采用SU8胶剥离工艺制作沟槽式同位素微电池的上电极，采用P型硅为衬底；在P型硅表面热氧化SiO<Sub>2</Sub>掩膜层；用掩膜版光刻，...
褚金奎朴相镐王培超
文献传递
PN结同位素微电池制作工艺研究
随着MEMS的发展，微能源逐渐成为MEMS应用中的一个关键问题。现有的各种微能源由于其体积、使用寿命、环境适应能力、集成性等方面的制约，无法满足MEMS器件对能源的需求。基于β辐射伏特效应的PN结同位素微电池具有体积小、...
王培超
关键词：微电子机械系统
文献传递
一种制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺
2008年
开发了一种利用SU8胶剥离工艺制作沟槽型同位素微电池表面电极的新工艺,通过使用BP212正胶作为牺牲层,有效地解决了在制作沟槽型同位素微电池表面电极时,堆胶以及沟槽中SU8胶不易去除的难题。该工艺操作简单、可靠,成本低,因此具有很大的实用价值。
朴相镐王培超褚金奎
一种同位素电池制作方法及结构
本发明一种同位素电池制作方法及结构属于微机械电子系统中的微能源领域。同位素电池制作方法是首先采用P型硅片为衬底，作为P型区；然后在P型区的上表面掺杂磷，形成N型区和PN结4；在P型区的下表面掺杂硼，形成P<Sup>+</...
褚金奎朴相镐杜小振王培超
文献传递
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