您的位置: 专家智库 > >

王亚

作品数:3 被引量:12H指数:2
供职机构:武汉化工学院材料科学与工程学院更多>>
发文基金:湖北省科技攻关计划更多>>
相关领域:理学一般工业技术金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 3篇金刚石膜
  • 3篇CVD金刚石...
  • 2篇激光
  • 2篇激光器
  • 2篇激光切割
  • 2篇ND:YAG
  • 2篇ND:YAG...
  • 1篇研磨
  • 1篇研磨效率
  • 1篇输出功率
  • 1篇刻蚀

机构

  • 3篇武汉化工学院

作者

  • 3篇王亚
  • 3篇汪建华
  • 3篇王俊峰
  • 2篇王传新
  • 1篇满卫东

传媒

  • 2篇武汉化工学院...
  • 1篇工具技术

年份

  • 3篇2005
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
CVD金刚石膜激光切割工艺研究被引量:4
2005年
研究了焦点位置、输出功率和不同气体切割环境对金刚石膜切割的影响,给出了采用NdYAG激光器切割金刚石膜的具体方法。
王亚汪建华王传新王俊峰
关键词:ND:YAG激光器金刚石膜CVD金刚石膜激光切割ND:YAG激光器输出功率
CVD金刚石膜激光切割工艺研究被引量:2
2005年
研究了焦点位置、光栏、输出能量对金刚石切割的影响.结果表明采用Nd∶YAG激光器切割金刚石膜时,焦点处于切割膜的中部时,切缝最小;加光栏后,有利于减小切割宽度,提高断面质量;对于一定厚度的金刚石膜,应选择最小的、一次能切透金刚石膜的激光输出能量.
王亚汪建华王传新王俊峰
关键词:ND:YAG激光器金刚石膜
微波等离子刻蚀CVD金刚石膜提高机械研磨效率被引量:6
2005年
针对低温低压化学气相沉积(CVD)金刚石膜表面粗糙且厚薄不均,普通的方法抛光金刚石膜效率低的现象,采用空气等离子刻蚀金刚石膜与机械研磨相结合的抛光工艺,提高了金刚石膜的抛光加工效率.并与纯机械研磨法比较,通过观察样品的表面形貌,说明等离子刻蚀的作用.
王俊峰汪建华满卫东王亚
关键词:金刚石膜刻蚀研磨
共1页<1>
聚类工具0