杨梅
- 作品数：7 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国空气动力研究与发展中心更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
- 负压检测传感器研制被引量：1
- 2010年
- 本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的,0～-50ka硅压力传感器的结构设计、制作版图设计及制作工艺。此系统通过形成的负压环境,加快创伤愈合。测试结果表明这种结构的传感器具有较高的灵敏度和较高的精度,性能稳定可靠,便于携带,并可利用微机械加工技术实现低成本批量生产。
- 张莹杨梅于炜陶瑛
- 关键词：压阻式压力传感器封装工艺
- 创伤恢复系统压力传感器研制及其温度性能研究
- 本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的,0KPa～-50KPa硅压力传感器的结构设计、制作版图设计及制作工艺。文中对通过温度补偿改善该传感器的温度性能研究进行了详细介绍。
- 杨梅于炜
- 关键词：压力传感器温度补偿压力控制温度性能
- 文献传递
- 基于MEMS技术的微差压测量系统研制
- 微差压测量系统是由多个应用MEMS技术制作的硅压阻式压力传感器模块组成的压力测量系统.该系统利用小量程差压传感器替代了价格昂贵的小量程绝压传感器,实现了同时对多点大静压下微小压力变化的精确测量.对该压力测量系统中使用的传...
- 杨梅于炜张莹
- 文献传递
- 梁-膜结构微压传感器研制被引量：3
- 2010年
- 由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构,具有平面应力集中效应,与一般的结构相比,这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中,使传感器在测量微压时有较高的灵敏度,它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性。介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设计就是采用这种应力集中原理,芯片结构的力学特性分析及样件测试结果表明,这种结构的微压传感器具有较高的灵敏度和较低的非线性,成功地实现了对微小压力的测量。利用有限元仿真计算对用于100Pa压力测量的梁-膜结构硅压力传感器的结构参数进行优化,并对芯片版图设计、制作工艺技术和传感器的特性等问题进行了讨论。
- 杨梅于炜张莹史煜
- 关键词：压力传感器应力集中
- 低量程高精度应变式压力传感器研制被引量：1
- 2009年
- 为了提高低量程应变式压力传感器的精度,将测力轮毂应变梁与带中央硬芯的测压膜片相结合,构成了新颖的梁膜一体的弹性元件。通过有限元方法对弹性元件的结构参数进行匹配,找到了最佳参数值,并制作实物加以验证,表明所选参数是适当的,使传感器的精度得到了大幅度提高,满足了低量程压力范围内高精度测量的要求。同时该传感器具有结构简单、易于加工装配、成本低廉的特点,符合传感器技术发展的需要。
- 于炜杨梅湛华海
- 关键词：传感器有限元法
- 基于双岛梁膜结构的弹性元件设计
- 本文将硅微压传感器的典型结构--双岛梁膜结构应用于应变式压力传感器的设计中,设计了一种适用于较低量程压力传感器的弹性元件,并用有限元方法对结构参数进行了优化设计。为压力传感器的研制提供了新的思路。
- 于炜张莹杨梅
- 关键词：弹性元件压力传感器有限元方法优化设计
- 文献传递
- 基于MEMS技术的微差压测量系统研制
- 微差压测量系统是由多个应用MEMS技术制作的硅压阻式压力传感器模块组成的压力测量系统。该系统利用小量程差压传感器替代了价格昂贵的小量程绝压传感器,实现了同时对多点大静压下微小压力变化的精确测量。对该压力测量系统中使用的传...
- 杨梅于炜张莹
- 关键词：测量系统温度补偿
- 文献传递
