杨中山
- 作品数:10 被引量:12H指数:2
- 供职机构:中国科学院电工研究所更多>>
- 相关领域:电子电信电气工程自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 光纤电流传感器信号的检测和数据处理
- 1991年
- 本文简要介绍了光纤电流传感器的原理和结构,较详细地描述了信号检测和数据处理系统,并给出了初步的实验结果。
- 杨中山黄惠智徐善纲杨文辉李彦君
- 关键词:光纤电流传感器信号检测
- 双光源光纤温度传感器
- 1991年
- 一个实用的光纤温度传感器已经研制出来了。它是由夹在两个平行光纤端部之间的半导体片和一个信号处理系统及两个不同波长的发光管所组成。这个系统最突出的特点是消除了光的杂散损耗,精度约为±1℃。传感器的响应时间:金属外壳的2S;陶瓷外壳2.5S。
- 黄惠智杨文晖曾文彦杨中山胡越升徐善纲李彦君
- 关键词:温度传感器光纤传感器
- 电子束曝光系统的信号检测与处理技术
- 1995年
- 本文叙述了应用于可变矩形电子束曝光系统中的几种信号检测和处理技术以及在调试过程中的应用,简单介绍了系统工作时信号间的相互关系。
- 杨中山李新涛方光荣王国铭
- 关键词:信号检测电子束曝光系统信息处理
- 可变矩形电子束曝光机数据格式转换软件的移植
- 1999年
- 详细介绍了如何在微机上实现 J B X6 A I I型可变矩形电子束曝光机的数据格式转换工作。在熟悉通用图形数据 C I F格式和专用图形数据 J E O L51 格式的基础上,对如何实现 C I F格式到 J E O L51 格式的转换作了论述,并给出了程序流程图。此外,提出了两种曝光数据检验的方法,并对曝光实验中应注意的问题作了说明。
- 耿兆强杨中山张玉林
- 关键词:电子束曝光数据格式转换磁带机
- 用于六硼化镧阴极的可调节恒流源
- 1991年
- 本文简要介绍在电子束曝光机中的几种类型的阴极,主要描述了用于六硼化镧阴极的可调节恒流源,并给出了一些实验结果。
- 杨中山陈坤仪王岩红马腾蛟
- 关键词:电子束曝光机负极电源
- 国际微电子专用关键设备的现状和发展趋势(考察报告)被引量:2
- 1994年
- 讲述了参观Semicon/west94′展览会及考察美国和西德的5个公司、1所大学所了解到的投影光刻技术、电子束曝光技术、透镜面形测试技术的发展。
- 姚汉民刘业异赵佩云杨中山
- 关键词:电子束曝光机面形测量透镜
- 电子束曝光机安装调试中的电磁兼容设计被引量:6
- 1997年
- 本文从定义电磁兼容设计目标函数出发,针对具体环境出现的各种干扰问题,根据评价表达式的要求来进行电磁兼容设计。本文所提出的设计思想,经在电子束曝光机安装调试过程中的实践所验证。
- 刘祖京杨中山方光荣
- 关键词:电子束曝光机电磁兼容
- 一种环形光纤隔离器
- 1992年
- 介绍了一种环形光纤隔离器,描述了它的基本结构和信号处理方法,给出了一些实验结果。
- 杨中山
- 关键词:传感器光纤电流隔离器
- 微流体PDMS薄片键合工艺探讨
- 本文简述了PDMS(俗称硅胶)的特性和微流体PDMS薄片的制作工艺,并讨论了气压、流量、轰击时间等因素对PDMS键合工艺的影响,总结出PDMS键合工艺中几个关键的参数.
- 聂棱田丰杨中山张春野闫献勇王珺吴岚军
- 关键词:PDMS生物芯片键合工艺
- 文献传递
- 光纤传感器的发展及其在电力系统中的应用被引量:4
- 1990年
- 光纤传感器几乎对任何物理或化学现象都有敏感作用。它们不仅价格低,而且灵敏度高、坚固、重量轻和具有合适的几何尺寸。它也能抗电磁干扰、防腐蚀、耐高温,可方便地应用于遥测系统。本文介绍在高压电力系统中应用的几种光纤传感器。
- 黄惠智杨中山徐善纲
- 关键词:光纤传感器电力系统