师丽丽
- 作品数：6 被引量：11H指数：1
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- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 一种标定Soleil-Babinet补偿器的新方法被引量：1
- 2009年
- 提出了一种高精度标定索累-巴比涅(Soleil-Babinet)补偿器的新方法。在光谱扫描法测量系统中,将多级半波片置于被测补偿器后,以半波片的延迟量为基准,高精度地标定出补偿器的延迟量所对应的测微丝杆位移。该方法利用光强透过率和波长的关系得到延迟量,避免了光强值直接测量法误差源多、精度不高的缺点;同时解决了光谱扫描法不易测量零级相位器件的问题。实验中以工作波长为633nm的多级半波片为基准,对Soleil-Babinet补偿器进行标定。分析表明,该方法在确定延迟量为0和λ的位置时,精度可达0.45nm;0～λ范围之间的延迟量最大测量误差仅为3.2nm。
- 王军陈磊尹嘉懿师丽丽
- 关键词：分光光度计延迟量
- 白光扫描干涉的包络峰值探测算法研究
- 白光扫描干涉术是通过白光干涉条纹提取待测物体的相位信息,具有条纹级次的不确定性。Harasaki及Wyant等人利用包络峰值探测技术并结合被测物体的相位信息来确定条纹级次,提高了被测件的测量深度和精度。白光干涉条纹的包络...
- 师丽丽陈磊韩志刚王军刘晨
- 文献传递
- 白光干涉垂直扫描测量计算全息件表面形貌的方法
- 计算全息器件(Computer Generated Hologram,CGH)作为一种衍射型光学器件,广泛的应用于成像光学系统和折-衍射型光学系统中,在非球面干涉测量中,其非球面理想波形的产生、波面精度很大程度上依赖于计...
- 王军陈磊韩志刚师丽丽
- 关键词：白光干涉
- 文献传递
- 基于白光垂直扫描干涉法量物体微观表面形貌的研究
- 光学元件的微观形貌会直接影响光学系统的性能和精度。微观表面形貌的测量方法有很多，其中光学干涉测量法具有精度高、速度快、测量范围广、不损伤待测件等优点，得到广泛的应用。研制了Mirau型白光扫描干涉显微镜，实现台阶板的高度...
- 师丽丽
- 关键词：微观形貌
- 文献传递
- 利用白光扫描干涉测量表面微观形貌被引量：8
- 2011年
- 由于激光显微干涉只能测量表面微观形貌的相对高度值,不能进行绝对测量,本文提出了白光显微干涉测量方法,研制了测量仪器,并对CCD像素格值和PZT进行了标定。该仪器以白光干涉理论为基础,利用空间频域算法计算白光干涉图零级条纹中心位置,根据零级条纹中心移动量来得到被测工件表面微观形貌。对被测工件表面进行了测试,试验结果表明:此系统可用于平面、台阶、薄膜、球面等三维微观形貌的测量。
- 刘晨陈磊王军韩志刚师丽丽
- 关键词：白光干涉微观形貌
- 基于白光垂直扫描干涉法测量物体微观表面形貌的研究
- 光学元件的微观形貌会直接影响光学系统的性能和精度。微观表面形貌的测量方法有很多,其中光学干涉测量法具有精度高、速度快、测量范围广、不损伤待测件等优点,得到广泛的应用。研制了Mirau型白光扫描干涉显微镜,实现台阶板的高度...
- 师丽丽
- 关键词：干涉显微镜粗糙度
- 文献传递
