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况园珠

作品数：6 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院空间科学与应用研究中心更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 4篇理学
  • 3篇一般工业技术
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 6篇离子束
  • 3篇离子束增强沉...
  • 2篇氮化
  • 2篇氮化硼
  • 2篇氮化硼薄膜
  • 2篇镀膜
  • 2篇离子
  • 2篇离子束辅助
  • 2篇离子束辅助镀...
  • 2篇离子源
  • 2篇立方氮化硼
  • 2篇光学
  • 2篇光学镀膜
  • 2篇轰击
  • 1篇性能研究
  • 1篇医用
  • 1篇医用材料
  • 1篇中立
  • 1篇离子轰击
  • 1篇立方氮化硼薄...

机构

  • 6篇中国科学院
  • 1篇北京师范大学
  • 1篇清华大学
  • 1篇天津市泌尿外...

作者

  • 6篇况园珠
  • 3篇郑保民
  • 2篇李安杰
  • 1篇尤引娟
  • 1篇黄小刚
  • 1篇王兴民
  • 1篇白新德
  • 1篇李晓谦
  • 1篇王宇
  • 1篇顾汉卿
  • 1篇张海文
  • 1篇尤大伟

传媒

  • 1篇材料导报
  • 1篇真空
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇光学仪器
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 2篇2001
  • 1篇2000
  • 1篇1998
  • 1篇1997
  • 1篇1995
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
离子束增强沉积制备TiB_2薄膜及其性能研究
1995年
用离子束增强沉积法（IBED）在硅及铜基体上沉积了TiB2薄膜，研究了轰击离子束能量和束流对薄膜的微结构及力学性能的影响。用俄歇电子谱（AES）分析了膜的成分及其界面状况，用X射线衍射（XRD）研究了膜的微结构，并测定了膜的硬度及进行了膜的高温氧化试验。结果指出：（1）离子束轰击使薄膜晶化，从而影响到膜的硬度及抗高温氧化性能；（2）离子束增强沉积的二硼化钛薄膜是一种耐高温氧化的高硬膜。
况园珠尤大伟白新德尤引娟
关键词：离子束增强沉积晶化
光学镀膜用大束密均匀区离子源
介绍一个适用于光学镀膜用的直径为φ120mm的大束密均匀区离子源的结构设计及性能参数,并对影响束密均匀性的因素进行了讨论.
况园珠郑保民李安杰
关键词：离子源离子束辅助镀膜
文献传递
镀膜参数对离子束增强沉积氮化硼薄膜中立方相含量的影响被引量：1
1997年
本文介绍用离子束增强沉积（ＩＢＥＤ）法在硅片上制备氮化硼（ＢＮ）薄膜及镀膜参数对膜中立方氮化硼（ｃ－ＢＮ）含量的影响的试验研究，主要研究轰击离子束密、镀膜速率、轰击束中氩气的含量及衬底温度的影响。用红外（ＩＲ）谱对膜进行了分析，结果指出：（１）在给定的轰击束能量与束密下氮化硼薄膜中立方相的含量是随镀膜速率而变化的，且存在一个最佳镀膜速率值；（２）提高离子轰击束密，则此最佳镀膜速率值也相应增大；（３）镀膜速率又是随轰击束密及轰击束中氩气含量的增大而减小的；（４）衬底温度在４００℃以下时，膜中ｃ－ＢＮ相的含量随温度提高而增加。
况园珠黄小刚尢大纬王兴民王兴民
关键词：立方氮化硼离子束增强沉积
光学镀膜用大束密均匀区离子源
2001年
介绍一个适用于光学镀膜用的直径为1 2 0 mm的大束密均匀区离子源的结构设计及性能参数 。
况园珠郑保民李安杰
关键词：离子源均匀性光学薄膜离子束辅助镀膜
多功能离子束医用材料表面改性装置
本文介绍了一个多功能离子束材料表面改性装置的结构、特点、性能参数及试验初步结果。
郑保民况园珠王宇李晓谦张海文顾汉卿赵景丽
关键词：离子束表面改性
离子束增强沉积立方氮化硼薄膜的研究进展
1998年
介绍了用离子束增强沉积法(IBED)制备立方氮化硼(c-BN)薄膜的主要研究单位及其研究内容和获得的结果。
况园珠
关键词：立方氮化硼离子束增强沉积离子轰击
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