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郑旭东
作品数:
48
被引量:38
H指数:4
供职机构:
浙江大学
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
浙江省自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
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医药卫生
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合作作者
金仲和
浙江大学信息与电子工程学系
马志鹏
浙江大学
林一羽
浙江大学
王跃林
浙江大学信息与电子工程学系
张霞
浙江大学信息与电子工程学系
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中国科学院
作者
48篇
郑旭东
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金仲和
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马志鹏
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4篇
2009
2篇
2008
1篇
2006
共
48
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一种可调低刚度微机械加速度计
本发明公开了一种可调低刚度微机械加速度计,属于加速度测量技术领域,包括加速度敏感模块、调谐模块、位移检测模块、力反馈模块。加速度敏感模块中质量块通过屈曲弹性梁与基板锚区相连,在加工过程中受内应力作用屈曲弹性梁发生形变,质...
马志鹏
张腾飞
金仲和
郭益轩
郑旭东
楼海君
文献传递
基于双模态同时激励的MEMS陀螺模态匹配方法和角速度读出方法
本发明公开了一种基于双模态同时激励的MEMS陀螺模态匹配方法和角速度读出方法,属于微机械陀螺仪领域。本发明根据陀螺的两个工作模态同时被激励时两个工作模态的谐振频率都可被直接读出的特性,得到两个模态的谐振频率差值,并以此为...
郑旭东
王雪同
金仲和
可减小由电容边缘效应导致的电容-位移之间的非线性的栅结构
本发明公开了一种可减小由电容边缘效应导致的电容‑位移之间的非线性的栅结构,所述的栅结构的两个侧面与靠近金属电极的底面形成的夹角小于90°。本发明通过对微机械陀螺仪中的栅结构形状进行改进,将栅结构的两个垂直侧面优化为与底面...
郑旭东
王雪同
吴海斌
金仲和
高性能微机械陀螺接口电路研究
被引量:4
2006年
微机械陀螺输出信号非常微弱,从系统角度对其接口电路进行研究,采用闭环驱动,通过改善驱动信号稳定性及陀螺输出端接口电路,系统性能得到较大提高,改善后系统灵敏度9.8mV/(o).s-1,非线性度0.43%,分辨率达180°/h。
王慧泉
郁发新
金仲和
郑旭东
陈永
焦继伟
王跃林
关键词:
微机械陀螺
自动增益控制
差分电容
一种用于微机械陀螺检测模态接口电路相位延迟的在线实时自动补偿方法和系统
本发明公开了一种用于微机械陀螺检测模态接口电路相位延迟的在线实时自动补偿方法,属于微机械陀螺领域。本发明是在微机械陀螺检测模态受到科氏角速度力、同相零偏以及正交误差力作用的一般情况下提出的,具有通用性和普适性,检测模态的...
郑旭东
吴海斌
金仲和
马志鹏
文献传递
基于新型梳状栅电容结构的微机械惯性传感器研究
本论文在对传统栅电容结构的惯性传感器进行研究的基础上,提出了一种新型的梳状栅电容结构,并对基于此结构的加速度计和陀螺进行了研究。具体工作包括:加速度计和陀螺器件的结构设计、制作、接口电路设计、性能测试及性能优化等。 ...
郑旭东
关键词:
微机械加速度计
微机械陀螺
深反应离子刻蚀
行为级仿真
文献传递
一种基于正交解调的微机械陀螺耦合误差系数实时辨识方法
本发明公开了一种基于正交解调的微机械陀螺耦合误差系数实时辨识方法,包括:基于PLL、AGC与力平衡实现微机械陀螺的闭环控制;基于正交解调获取谐振式微机械陀螺振动信号的幅值、相位信息;基于转台正反转检测法获得驱动模态与检测...
郑旭东
夏陈浩
一种微机械陀螺的基于自激驱动的非线性控制系统和方法
本发明公开了一种微机械陀螺的基于自激驱动的非线性控制系统和方法,包含位移检测模块、相位偏移模块、幅度控制模块以及驱动模块。其中,检测模块通过载波调制和解调的方式对代表微机械陀螺谐振位移信号进行降噪处理,经过带通滤波器处理...
张琰珺
马志鹏
金仲和
郑旭东
文献传递
一种陀螺全匹配调谐电极
本发明公开了一种陀螺全匹配调谐电极,将驱动模态和检测模态的调谐电极的栅结构均设置在中心质量块上,中心质量块可在驱动模态方向和检测模态方向上自由运动;所述驱动模态的调谐电极为两个,两个调谐电极的栅结构在中心质量块上对称分布...
郑旭东
王雪同
吴海斌
金仲和
文献传递
一种微机械加速度计控制方法及装置
本发明公开了一种微机械加速度计控制方法及装置,该方法包括适用于具有驱动电极结构和调谐结构的微机械加速度计,本发明将一定频率的余弦注入调制信号施加到微机械加速度计的驱动电极上,固定调谐电压施加到非线性调谐结构上,将微机械加...
吴海斌
郑旭东
金仲和
马志鹏
林一羽
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