贺利军
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 溅射温度对于TaN薄膜应变敏感性能的影响研究
- 采用中频磁控溅射方法,在制备有绝缘层的金属基板上制备TaN薄膜应变计。并研究了溅射温度对于TaN薄膜微结构、室温电阻率以及对薄膜TaN应变计的电阻温度系数(TCR)和应变敏感系数(GF)的影响。结果表明,溅射温度对于Ta...
- 李超周勇宋阳贺利军蒋书文
- 关键词：TANTCRGF应变计
- 文献传递
- 溅射温度对TaN薄膜应变敏感性能的影响被引量：2
- 2013年
- 采用中频磁控溅射方法,在有绝缘层的金属基板上制备TaN薄膜应变计。并研究了溅射温度对TaN薄膜微结构、室温电阻率以及对薄膜TaN应变计的电阻温度系数(TCR)和应变敏感系数(GF)的影响。结果表明:溅射温度对TaN薄膜的微结构有显著影响;不同的溅射温度下,TaN会析出不同的晶相,不同晶相的TaN薄膜的电学性能和薄膜应变计的电阻温度系数都不相同;在400℃溅射温度下,N2分压为4%,溅射功率为200 W的条件下,制备的TaN薄膜应变计的TCR为50×10-6℃,GF为9,该薄膜应变计性能稳定,重复性好。
- 李超周勇宋阳贺利军蒋书文
- 关键词：TANTCRGF应变计
- 溅射温度对TaN薄膜应变敏感性能的影响
- 采用中频磁控溅射方法,在有绝缘层的金属基板上制备TaN薄膜应变计。并研究了溅射温度对TaN薄膜微结构、室温电阻率以及对薄膜TaN应变计的电阻温度系数(TCR)和应变敏感系数(GF)的影响。结果表明：溅射温度对TaN薄膜的...
- 李超周勇宋阳贺利军蒋书文
- 关键词：微结构
- 文献传递
