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费彬城
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
上海工程技术大学
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发文基金:
上海大学生创新活动计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈余行
上海工程技术大学
朱鹏飞
上海工程技术大学
陈良雷
上海工程技术大学
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折射率
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高阶模
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包覆
机构
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上海工程技术...
作者
1篇
陈良雷
1篇
费彬城
1篇
朱鹏飞
1篇
陈余行
传媒
1篇
大学物理实验
年份
1篇
2013
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双面金属铝包覆介质波导测量介质厚度和折射率
被引量:2
2013年
利用双面金属铝包覆波导的测量方法,测量了硅片的厚度和折射率。这种方法利用双面金属铝包覆波导的超高阶模的偏振不灵敏和对金属层要求较低的特点,降低了对仪器的要求和测量的成本。同时,由于应用高灵敏的超高阶导模为探针,测量精度较高,结果显示测量精度在1%以内。
费彬城
陈良雷
陈余行
朱鹏飞
关键词:
折射率
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