苏东奇
- 作品数：41 被引量：63H指数：5
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
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- 相关领域：机械工程理学文化科学自动化与计算机技术更多>>
- 一种F数为0.6斐索激光干涉仪标准参考镜
- 一种F数0.6斐索激光干涉仪标准参考镜涉及光学镜头设计领域，解决了现有技术中小R数的球形元件面形检测难的问题，该参考镜包括光阑、像差平衡组分、光焦度组分和参考面，还包括：扩束组分；干涉仪发出激光，通过光阑滤过口径过大的部...
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- 文献传递
- 基于两帧差分平均移相算法标定斐索型波长移相干涉仪被引量：3
- 2013年
- 波长移相干涉仪的移相值与干涉腔长度有关,需要对其标定方可采用定步长移相算法计算相位分布。为了标定研制的斐索型波长移相干涉仪,提出一种利用干涉图直接计算定步长移相值的新算法两帧差分平均移相算法(TDA)。对该算法进行模拟仿真,验证了算法的可行性和计算精度,并进一步开展了实验研究。结果表明:运用TDA算法处理定步长移相干涉图可以获得与实际值接近的计算结果;利用TDA算法标定的波长移相干涉仪的测量面形均方根(RMS)重复性优于0.07nm(1.106λ/10000),达到了设计指标;用该干涉仪与Zygo干涉仪对相同元件进行比较测量,检测结果之差的RMS为0.742nm。
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- 关键词：可调谐半导体激光器
- 一种转台摆角精密测量方法
- 本发明一种基于平面干涉仪的转台摆角精密测量方法，属于光学检测领域，解决了现有技术中测量转台摆角精度严重依赖标准件的质量的技术问题；本发明利用了干涉仪和标准平晶建立标准的平面干涉腔，并测量标准平晶在不同转动角度下的干涉图。...
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- 文献传递
- 干涉仪系统、干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法
- 一种干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法，包括：将用于配合检测的面状光学元件放置于干涉仪系统的待测台上；调整所述面状光学元件在所述待测台上的放置状态，而使得所述面状光学元件分别处于多个放置状态；通过干涉仪系统的成像部相应地...
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- 文献传递
- 一种用于光学检测的干涉仪标准具
- 本发明涉及光学精密检测技术领域，具体公开一种用于光学检测的干涉仪标准具。标准具包括三套镜组，镜组分别为凹镜组、凸镜组和楔形镜组，凹镜组用于发散光线，凸镜组用于聚集光线，楔形镜组用于偏转光线，三套镜组叠放设置，镜组之间可拆...
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- 文献传递
- 一种转台摆角精密测量方法
- 本发明一种基于平面干涉仪的转台摆角精密测量方法，属于光学检测领域，解决了现有技术中测量转台摆角精度严重依赖标准件的质量的技术问题；本发明利用了干涉仪和标准平晶建立标准的平面干涉腔，并测量标准平晶在不同转动角度下的干涉图。...
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- 一种气浮高精度检测工装
- 本发明一种气浮高精度检测工装，属于光学检测领域，解决现有技术中的传统检测工装支撑方式引入的应力和摩擦力所引入的变形，精度不高的技术问题；本发明包括一个平面基座，基座表面上分布有若干喷气孔，周围三个限位块，保证检测工件位固...
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- 文献传递
- 在随机和倾斜移相下光强归一化的迭代移相算法被引量：7
- 2013年
- 由于存在振动和导向误差,干涉仪移相器在移相过程中产生随机的平移误差和倾斜误差,会给测量结果带来影响。因此高精度测量中对环境的稳定性和移相器的性能要求很苛刻。为了降低此种要求,针对随机和倾斜移相下干涉图背景光强和调制度的不均匀会影响移相平面计算的问题,对采集得到的干涉图做归一化处理,并利用迭代最小二乘法对归一化的干涉图做相位求解。迭代过程中,将干涉图分块来求解移相值,并对各移相值做平面拟合得到移相平面。仿真结果表明,该方法消除了背景光强和调制度的不均匀对倾斜系数计算的耦合作用,能够有效补偿倾斜移相误差对面形相位的影响,与其他方法相比,具有收敛速度快、求解精度高的特点。实验结果进一步验证了该方法的有效性。
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- 关键词：干涉仪迭代算法
- 光学系统波前主动补偿装置
- 本发明公开了一种光学系统波前主动补偿装置，属于光学系统的像差补偿技术领域。解决了现有技术中波前主动补偿装置结构复杂、成本昂贵的问题。本发明的光学系统波前主动补偿装置包括玻璃镜片、电控系统和多个温度调节装置，多个温度调节装...
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- 文献传递
- 一种双波长斐索激光干涉仪标准参考镜
- 一种双波长斐索激光干涉仪标准参考镜，涉及光学镜头设计领域，包括：光阑、镜头组分和参考面；干涉仪发出两束不同波长的入射光，通过光阑后，使入射光的口径与镜头组分的口径匹配；镜头组分将入射光会聚在参考面的球心位置。不同于现有商...
- 曲艺苏东奇彭石军苗二龙杨怀江
- 文献传递
