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王魁波

作品数：122 被引量：27H指数：4
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术理学电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 114篇专利
  • 8篇期刊文章

领域

  • 8篇一般工业技术
  • 6篇自动化与计算...
  • 4篇理学
  • 3篇电子电信
  • 3篇轻工技术与工...
  • 2篇文化科学
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程

主题

  • 20篇激光
  • 19篇密封
  • 17篇极紫外
  • 17篇分压
  • 16篇激光器
  • 15篇质谱
  • 13篇质谱计
  • 13篇法兰
  • 13篇辐照
  • 12篇真空
  • 12篇质谱仪
  • 12篇紫外
  • 12篇紫外辐照
  • 11篇光刻
  • 10篇液滴
  • 10篇紫外光刻
  • 9篇散热
  • 9篇四极质谱仪
  • 9篇碎屑
  • 9篇漏率

机构

  • 122篇中国科学院光...
  • 2篇东南大学
  • 1篇中国科学院微...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 122篇王魁波
  • 103篇吴晓斌
  • 92篇王宇
  • 91篇罗艳
  • 88篇陈进新
  • 85篇张罗莎
  • 44篇周翊
  • 27篇崔惠绒
  • 18篇丁金滨
  • 18篇刘斌
  • 15篇赵江山
  • 9篇张立佳
  • 9篇沙鹏飞
  • 6篇齐威
  • 3篇卢增雄
  • 3篇齐月静
  • 3篇韩晓泉
  • 3篇苏佳妮
  • 3篇冯泽斌
  • 3篇王宇

传媒

  • 4篇真空科学与技...
  • 2篇真空与低温
  • 1篇分析测试技术...
  • 1篇质谱学报

年份

  • 3篇2023
  • 1篇2021
  • 7篇2019
  • 15篇2018
  • 16篇2017
  • 30篇2016
  • 17篇2015
  • 13篇2014
  • 20篇2013
共 122 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器
本发明公开了一种放电腔的导流装置，所述放电腔具有对称的结构，且包括两对电极，该导流装置包括两个叶轮，该两个叶轮分别对应所述两对电极中的一对，其安装位置关于所述放电腔的对称面对称，且位于所述电极的下方，其转动轴平行于电极的...
刘斌丁金滨王魁波王宇周翊赵江山
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一种弹性金属矩形密封装置
本实用新型公开了一种真空环境中的弹性金属矩形密封装置，包括矩形上法兰(1)、矩形下法兰(2)、矩形密封盒体(3)、矩形整体轮廓的密封结构、压紧螺钉、待密封系统安装螺钉、矩形截面待密封系统，其中，矩形截面待密封系统容纳于矩...
吴晓斌张罗莎王魁波陈进新谢婉露罗艳周翊王宇崔惠绒
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一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置和方法
本发明公开了一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置以及气体渗透率的测试方法，该装置包括：真空腔室系统、辐射系统、抽气系统、供气系统和检测系统，所述真空腔室系统包括左腔室(1)和右腔室(2)，所述辐射系统包括光源(5)及照明...
罗艳吴晓斌王魁波陈进新谢婉露张罗莎
一种液滴阵列产生器
本实用新型公开了一种液滴阵列产生器，包括转鼓、旋转驱动机构及外壳，其中，转鼓用于接收液料，旋转驱动机构带动转鼓转动，使液料成为一系列液滴，一系列液滴经过外壳后，产生高输出频率、高初速度、尺寸稳定的微米级液滴阵列，此液滴阵...
张罗莎王宇吴晓斌王魁波罗艳陈进新谢婉露丁功明
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用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置
本发明公开了一种用于激光器放电腔的电磁力密封窗装置，其具有出光窗片，所述激光器放电腔产生的激光经由该出光窗片向外界出射，其特征在于，所述电磁力密封窗装置由腔体密封端(201)、电磁密封段(202)和窗片密封端(203)构...
刘斌丁金滨王魁波沙鹏飞周翊王宇赵江山
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一种材料分压放气率测试装置及方法
本发明公开了一种材料分压放气率测试装置及方法，该装置包括一个测量室、一个真空泵组和一个限流小孔；真空泵组通过插板阀与测量室连接，限流小孔的前端通过角阀与测量室连接，后端直接与真空泵组连接；通过四极质谱仪和分离规，分别测量...
张罗莎王魁波吴晓斌罗艳陈进新谢婉露王宇
双腔气体激光器的温度控制装置
本实用新型公开了一种双腔气体激光器的温度控制装置，所述准分子激光器具有第一腔体模块和第二腔体模块，第一腔体模块和第二腔体模块均包括放电腔、磁压缩器和固体开关，所述温控系统包括用于对所述两个磁压缩器进行冷却的冷却系统、用于...
王魁波丁金滨刘斌周翊王宇赵江山
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一种分压漏率测量装置及方法
本发明公开了一种真空密封件分压漏率测量装置及真空密封件分压漏率测量方法，用于测量真空密封件漏气组分及各组分的分压漏率。该装置包括第一真空规(1)、质谱计(2)、标准漏孔(3)、截止阀(4)、真空室(5)、插板阀(6)、角...
王魁波张罗莎吴晓斌罗艳陈进新谢婉露王宇
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一种极紫外光源性能参数的测量系统
本实用新型公开了一种极紫外光源性能参数测量系统，其包括：EUV光源腔室、反射镜腔室、测量腔室，其中设置有旋转调节装置；所述旋转调节装置包括：旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调...
谢婉露吴晓斌陈进新王魁波罗艳张罗莎王宇崔惠绒
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多元合金薄膜的制备装置
本实用新型涉及多元合金薄膜的制备装置，包括连接有真空泵组的腔室、多个用于盛放高纯金属液的金属液容器、用于放置沉积基片的可转动基座、多个产生双脉冲激光的激光器组、基座控制器和数据采集控制单元，数据采集控制单元采集可转动基座...
吴晓斌罗艳王宇王魁波谢婉露张罗莎张立佳
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