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王博
作品数:
24
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
“上海-应用材料研究与发展”基金
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相关领域:
电子电信
理学
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
周常河
中国科学院上海光学精密机械研究...
冯吉军
中国科学院上海光学精密机械研究...
茹华一
中国科学院上海光学精密机械研究...
王伟
中国科学院上海光学精密机械研究...
陆云清
中国科学院上海光学精密机械研究...
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机构
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中国科学院上...
作者
24篇
王博
23篇
周常河
5篇
茹华一
5篇
冯吉军
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郑将军
1篇
王顺权
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谢金
1篇
韩泽华
1篇
戴恩文
1篇
陆云清
1篇
王伟
传媒
1篇
激光与光电子...
1篇
中国激光
年份
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2009
8篇
2008
5篇
2007
8篇
2006
共
24
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微电子刻蚀工艺加工新型光栅
周常河
戴恩文
茹华一
王博
冯吉军
韩泽华
谢金
郑将军
王伟
利用高密度等离子体刻蚀设备,半导体光刻工艺技术和激光全息技术,加工出微结构光栅,光栅周期660/毫米,深度大于2微米,能够在1550纳米光通信波段以并行方式实现全波段的解复用,效率高于80%,具有串扰小、并行度高、波长分...
关键词:
偏振光栅自成像效应
2006年
中国科学院上海光学精密机械研究所周常河课题组发现了高密度光栅的偏振自成像效应。该效应显示在光栅周期接近光波波长时,入射光偏振态的改变将导致不同的光栅自成像。
周常河
陆云清
王顺权
王博
关键词:
光波波长
光栅周期
入射
1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅
周常河
冯吉军
王博
茹华一
本发明能够实现高消光比、高衍射效率的深刻蚀硅反射偏振分束光栅,具有重要实用意义。
关键词:
关键词:
偏振
532纳米波长的高密度深刻蚀石英透射偏振分束光栅
一种532纳米波长的高密度深刻蚀石英透射偏振分束光栅,该光栅的周期为395-412纳米、刻蚀深度为1.580-1.630微米,光栅的占空比为1/2。其TE偏振光和TM偏振光分别在0级和1级透射,该偏振分束光栅的消光比大于...
周常河
王博
文献传递
1550纳米波长的石英透射偏振分束光栅
一种用于常用波段1.55微米光纤通信的石英透射偏振分束光栅,其特征在于该光栅的周期为866-912纳米、刻蚀深度1.91-2.05微米,光栅的占空比为1/2。本发明光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工...
周常河
王博
文献传递
玻璃变晶体的技术:偏振分束深刻蚀石英光栅
2008年
通过引入深刻蚀光栅结构,普通的石英玻璃可以表现出类似双折射晶体的偏振分光性能。这种深刻蚀光栅是一种亚波长光栅结构,仅存在两个衍射级次,通过光栅表面刻蚀深度的优化控制,实现不同偏振方向的光出射到不同衍射级次上,实现了偏振分光的功能。
周常河
王博
冯吉军
茹华一
关键词:
石英玻璃
晶体
光栅
1550纳米波长的石英反射偏振分束光栅
一种用于光纤通信的1550纳米波长的石英反射偏振分束光栅,其特征在于该光栅的周期为692-710纳米、刻蚀深度为1.985-2.005微米,光栅的占空比为1/2。该光栅可以将TE、TM两种偏振模式相互垂直的光分为不同的方...
周常河
王博
文献传递
1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅
一种1550纳米波长硅反射式偏振分束光栅,TM偏振光和TE偏振光分别在0级和1级反射,光栅的占空比为0.5,该光栅的周期为344-412纳米、刻蚀深度为1.076-1.205微米时,偏振分束光栅的消光比大于100,可以实...
周常河
冯吉军
王博
茹华一
文献传递
用于441.6纳米波段的石英透射偏振分束光栅
一种用于441.6纳米波段的石英透射偏振分束光栅,其特征在于该光栅的周期为328-341纳米、刻蚀深度为1.290-1.340微米时,偏振分束光栅的消光比大于100,TE偏振光的0级透射衍射效率和TM偏振光的1级透射衍射...
周常河
王博
文献传递
632.8纳米波长背入射式石英反射偏振分束光栅
一种632.8纳米波段的背入射式石英反射偏振分束光栅,该光栅的周期为281~286纳米、刻蚀深度为0.800~0.810微米、光栅的占空比为1/2时,偏振分束光栅的消光比大于100,TE偏振光的0级反射衍射效率和TM偏振...
周常河
王博
文献传递
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