李宝清
- 作品数：8 被引量：23H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家攀登计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程理学电子电信更多>>
- 变面积结构微机械电容式加速度传感器被引量：13
- 2000年
- 文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构,由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。在惯性力的作用下,质量块呈平行于衬底水平移动,引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分电容变化。通过测量差分电容的变化,可以得到加速度信号的大小。理论分析表明加速度响应信号随面积呈线性变化,而与质量块及定电极的间距无关。加速度传感器的制作采用了基于金属电镀的准LIGA技术,设计量程为20m/s2。测量结果表明,加速度传感器量程为20m/s2,灵敏度为581mV/(m·s-2),非线性为4%FS。讨论了器件线性度不够理想的原因。
- 李宝清陆德仁王渭源
- 关键词：电容微机械加速度传感器
- 微机械电容式加速度计的开环工作模式被引量：6
- 1999年
- 在微机械电容式加速度计中利用静电力反馈使加速度计处于闭环力平衡模式工作，能提高加速度计的线性度。本文阐述了静电力在开环工作模式中的作用，导出了相关的灵敏度公式，报导了实验结果和成功地将原闭环工作的±１ｇ 量程加速度计直接变为低量程的微机械电容式加速度计的实例，其量程为±０．０１ｇ，线性度优于０－２ ％ 。
- 李宝清陆德仁王渭源
- 关键词：微机械加速度计开环电容式
- 微型静电悬浮Z向加速度计的计算机模拟
- 1996年
- 本工作针对一种新型的电容式力平衡加速度计－微型静电悬浮Ｚ向加速度计进行了计算机模拟。模拟中的Ｚ向加速度计拟采用微机械加工技术在硅片上制作，利用静电悬浮原理平衡质量块，感应加速度并输出信号。计算机模拟分析了加速度计的悬浮特性，稳定特性，响应特性。对Ｃ－Ｆ转换电路的输出特性也进行了分析，该电路可用ＣＭＯＳ工艺集成在加速度传感器的周围。模拟结果表明该加速度计具有灵敏度高，抗冲击性能好的特点。
- 李宝清陆德仁熊斌卢平芳何国鸿鲍敏杭王渭源
- 关键词：微机械加速度计计算机模拟
- 栅型结构电容式微机械谐振陀螺
- 本实用新型是涉及一种尺寸在毫米量级的栅型结构电容式微机械谐振陀螺,主要由静电驱动电极、电容检测电、栅型结构驱动质量块与检测质量块、支撑质量块的悬空弹性折叠梁和限位锚点构成。其中质量块可以在平面上运动。因对惯性质量块振动的...
- 熊斌王跃林李宝清陆德仁王渭源
- 文献传递
- 硼离子注入对硅基Si_3N_4薄膜驻极体性质的影响及力学性能的改善被引量：2
- 2000年
- 利用硼离子Ｂ＋注入方法来改善Ｓｉ３Ｎ４薄膜的力学性质，并就Ｂ＋注入对Ｓｉ３Ｎ４薄膜驻极体性质的影响进行了较为系统的研究．实验结果表明，Ｂ＋注入能够有效地降低薄膜的内应力，而对薄膜的驻极体性质有不利的影响；用化学表面修正能够在一定程度上提高材料的抗恶劣环境能力。
- 张晓青夏钟福潘永刚张冶文李宝清林梓辛
- 关键词：氮化硅薄膜驻极体内应力
- 栅结构电容式微型加速度传感器
- 本实用新型是一种尺寸小至毫米量级的微型栅结构电容式加速度传感器,主要由兼作可动电极的栅状结构质量块、固定叉指式测量电极、质量块与测量电极构成的电容、支撑质量块的悬空弹性梁和限位锚点构成。其中,质量块仅沿X方向或Y方向运动...
- 李宝清陆德仁王渭源
- 文献传递
- 霍尔翼片传感器的磁路仿真与设计被引量：2
- 2002年
- 利用ANSYS有限元分析软件对霍尔翼片传感器进行磁路仿真和设计。以Honeywell公司的2AV系列霍尔翼片传感器为例确立了静态和动态仿真的过程。用Sm2Co17永磁替代AlNiCo器件中的AlNiCo8永磁,并进行结构调整和优化,研制出的新器件与原器件性能参数一致,成本更低。
- 胡少坚崔卫东李宝清夏冠群
- 关键词：仿真磁场CAD
- 低量程电容式力平衡加速度传感器
- 微机械电容式加速度传感器适合于在低量程发挥优越性。本文介绍一种三明治结构电容式加速度传感器和接口电路(加速度计)的工作原理、结构设计、接口电路框图、静电力和工作模式,作者提出了适合于特低量程的浅反馈或开环工作模式和采用具...
- 陆德仁李宝清邹强尤绍麟
- 关键词：微机械加速度计电容式传感器分度头电路框图
- 文献传递
