张少君
- 作品数:5 被引量:5H指数:2
- 供职机构:华东师范大学信息科学技术学院电子工程系更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信理学更多>>
- 基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真被引量:4
- 2007年
- 该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法。根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配。研究表明,实验结果与仿真结果基本吻合,这为小功率微型微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础。
- 廖斌张少君朱守正
- 关键词:品质因数
- 用于微波等离子体激励的微带环缝谐振器的设计
- 本文介绍了一种新型的微带环缝谐振器(MSRR)的设计方法。它具有平面化、小型化的特点,且结构简单。谐振器的电路尺寸为波长的1/2,调整缝隙的宽度和偏转角度使谐振器和馈电端相匹配。这种谐振器主要应用于低压小功率微波等离子体...
- 张少君廖斌
- 关键词:微波等离子体
- 基于微带环缝谐振器的小功率微波等离子体源被引量:2
- 2009年
- 介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45 GHz小功率微波等离子体源,根据微带环缝谐振器的奇模等效电路,通过S参数与微波等离子体阻抗之间的关系,研究小功率微波等离子体源的阻抗匹配及其在不同气体条件下的放电规律.研究表明,在低气压(空气)和常压(氩气)条件下,输入功率不超过1 W,都能使气体放电并激励起稳定的微波等离子体;当微波等离子体激励以后,小功率微波等离子体源的谐振频率和S参数发生变化.这些为小功率电容耦合微波等离子体源的小型化研究提供了理论基础.
- 廖斌张少君赵娜朱守正
- 关键词:阻抗匹配气体放电S参数
- 一种新型的三角形双模带通滤波器的研究
- 2006年
- 在传统的三角形双模微带带通滤波器的基础上,提出一种新型的双模微带带通滤波器结构,并对该结构及其滤波性能进行研究和分析。利用上述分析结果,设计一个中心频率为2.3GHz的滤波器实物,实测结果和仿真结果基本吻合,验证了研究结果的一致性。
- 张少君廖斌汤小华
- 关键词:微带带通滤波器插入损耗
- 用于小功率微波等离子体源的微带环缝谐振器的研究
- 等离子体源的小型化研究一直是等离子体源研究的难点,而基于微带型的小型化等离子体源更是该研究的重点。随着MEMS工艺的广泛应用,基于MEMS工艺实现的微型等离子体源越来越受到关注,一度以来成为研究的热点。这种等离子体源体积...
- 张少君
- 关键词:S参数品质因数
- 文献传递