孙海浪
- 作品数：6 被引量：2H指数：1
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术航空宇航科学技术更多>>
- 一种获得精密齐整棱边的MEMS划片方法
- 本发明公开了一种能获得精密齐整棱边的MEMS划片方法，属于MEMS微细加工和晶圆划片领域。该方法首先在器件周围刻蚀贯通槽7，器件和晶圆间仅通过带裂片凹槽2的支撑梁3连接；而后在贯通槽7外围一定距离处以划片线4为基准实施划...
- 马炳和孙海浪
- 文献传递
- 一种微型压阻式壁面剪应力测量装置及其制作方法
- 本发明公开了一种可对壁面剪应力进行流场非破坏性测量的微型压阻式壁面剪应力测量装置及其制作方法，属于传感器技术领域。包括感测部分1、弹性变形部分2、基底6以及位于弹性变形部分2上的压敏电阻、导线和焊盘；该装置通过基底6安装...
- 姜澄宇马炳和孙海浪苑伟政
- 文献传递
- 面向壁面剪应力测量的底层隔板微敏感结构设计与制造被引量：2
- 2013年
- 采用MEMS技术加工的底层隔板能够为壁面剪应力的测量提供新的手段。利用有限元法(FEM)建模仿真、正交实验设计以及各因素的极差分析,考查了微敏感结构宽度、厚度和凸出壁面高度对底层隔板固有频率和压阻灵敏度的影响规律,完成了底层隔板的结构优化设计。仿真结果显示:微敏感结构厚度对隔板固有频率和灵敏度影响最大,提升敏感结构高度能够有效提高压阻灵敏度,固有频率和压阻灵敏度受微敏感结构宽度变化影响很小。基于绝缘体上硅技术,利用电感耦合等离子体刻蚀工艺形成底层隔板结构,反应离子刻蚀工艺完成对敏感结构的释放,所加工底层隔板的整体尺寸为5.9mm×10.1mm×0.39mm。底层隔板的动态特性测试表明样件固有频率为1 453.1Hz,与有限元仿真结果的最大偏差为4.4%。
- 马骋宇马炳和孙海浪庄成乾
- 关键词：MEMS绝缘体上硅正交实验设计
- 一种获得精密齐整棱边的MEMS划片方法
- 本发明公开了一种能获得精密齐整棱边的MEMS划片方法，属于MEMS微细加工和晶圆划片领域。该方法首先在器件周围刻蚀贯通槽7，器件和晶圆间仅通过带裂片凹槽2的支撑梁3连接；而后在贯通槽7外围一定距离处以划片线4为基准实施划...
- 马炳和孙海浪
- 一种微型压阻式壁面剪应力测量装置及其制作方法
- 本发明公开了一种可对壁面剪应力进行流场非破坏性测量的微型压阻式壁面剪应力测量装置及其制作方法，属于传感器技术领域。包括感测部分1、弹性变形部分2、基底6以及位于弹性变形部分2上的压敏电阻、导线和焊盘；该装置通过基底6安装...
- 姜澄宇马炳和孙海浪苑伟政
- 壁面剪应力测量底层隔板数学模型研究被引量：1
- 2012年
- 为指导器件研发设计和测量工作,提出了一种建立底层隔板壁面剪应力-压差数学模型的方法。通过量纲分析确定壁面剪应力和压差之间关系;结合具体器件,采用CFD方法计算出若干组壁面剪应力、压差的值;通过非线性回归获得该器件的壁面剪应力-压差数学模型。将建立的模型与实测数据进行对比,结果表明:二者能够较好地吻合,证明提出的方法是有效的。并应用该方法设计并加工了一种压阻式微机电系统(MEMS)底层隔板。
- 孙海浪马炳和邓进军马骋宇
- 关键词：数学模型压差微机电系统
