孔鹏
- 作品数：36 被引量：93H指数：7
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金“十一五”国家科技支撑计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 一种平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法
- 一种平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法，属于光谱技术领域中涉及的平面全息光栅制作所使用的实时监测装置的调整方法。要解决的技术问题是：提供一种调整平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的方法。技术方案为：步骤一，建立...
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- 平面全息光栅刻线密度的倍频式调整方法被引量：6
- 2011年
- 刻线密度准确与否直接影响光栅色散及给定波长的衍射方向,进而影响光谱仪器结构设计。为了提高全息光栅刻线密度的制作精度,提出了平面全息光栅刻线密度的倍频式调整方法。将给定刻线密度的基准光栅放在干涉场曝光区域内,调节光束干涉角,干涉场曝光光束经基准光栅衍射后,根据调整光栅刻线密度的不同选择不同的衍射级次相互叠加形成莫尔条纹,以基准光栅刻线密度的倍数来确定待制作光栅的刻线密度。理论证明了基准光栅周期与光栅像周期之间存在倍数关系,指出了基准光栅刻线密度选择在倍频式调整方法中的等效规则,分析了基准光栅宽度不同对光栅刻线密度制作精度的影响。计算结果表明,当基准光栅宽度达到100mm时,制作300line/mm光栅其刻线密度误差小于1nm,刻线密度越大误差越小,故以基准光栅的刻线密度来确定待制作全息光栅刻线密度的倍频式调整方法能够满足全息光栅的制作要求。
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- 关键词：莫尔条纹
- 双光栅切换微型平场全息凹面光栅光谱仪被引量：9
- 2013年
- 基于CCD的微型平场全息凹面光栅光谱仪,以其简单紧凑的结构和快速高效的工作方式在光谱分析领域获得了广泛的应用。但是,由于受限于色散距离,单纯依靠优化光栅像差很难进一步使光谱分辨率获得大幅提高。提出一种双光栅切换微型平场全息凹面光栅光谱仪的设计方法,用两个使用结构相同的光栅代替传统的单光栅设计,给出一个光谱范围为400～1000nm光谱仪的具体设计,计算显示光谱分辨率最大可提高为原来的2.5倍。通过对光栅衍射效率的计算分析,说明此方法能够显著改善仪器的通光效率。设计制作了原理样机,进行了装调测试,实验结果与理论计算相吻合。
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- 关键词：光谱学光谱仪衍射光栅宽光谱
- 宽波段全息罗兰光栅的优化被引量：9
- 2011年
- 罗兰光栅存在的主要像差是像散和弧矢彗差,影响其光通量和光谱分辨率。根据凹面全息光栅的几何像差理论,分析了记录光源点在罗兰圆外所制作的全息罗兰光栅的宽波段像差特性。发现像散和弧矢彗差能够在两个波长处被同时消除;并且在两波长之间的波段范围内,像散和弧矢彗差相对传统光栅均得到明显改善。基于此像差特性提出一种设计宽波段高分辨罗兰光栅的方法,通过选择适当的使用结构和校正波长,能够在整个使用波段有效地校正像散和弧矢彗差。利用这种优化方法设计了工作波段为160~600 nm的罗兰光栅。光线追迹结果显示,所设计光栅的光谱分辨率和能量集中度在整个使用波段较传统光栅均有显著提高。
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- 关键词：光栅全息像差校正宽波段
- 一种在全息光栅制作光路中精确调整刻线密度的方法
- 一种在全息光栅制作光路中精确调整刻线密度的方法，属于光谱技术领域中涉及的一种方法。要解决的技术问题是提供一种在全息光栅制作光路中精确调整刻线密度的方法。解决的技术方案为：步骤一，配备一套用于全息光栅曝光的洛艾镜式曝光光学...
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- 文献传递
- 平面全息光栅制作中光栅基底的零级光定位方法
- 平面全息光栅制作中光栅基底的零级光定位方法，属于光谱技术领域中涉及的一种光栅基底的定位方法。要解决的技术问题是提供一种平面全息光栅制作中光栅基底的零级光定位方法。技术方案为：步骤一，配备一套平面全息光栅曝光装置，该装置与...
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- 凹面全息光栅制作中光栅基底的双光束定位方法
- 凹面全息光栅制作中光栅基底的双光束定位方法，属于光谱技术领域中涉及的一种光栅基底的定位方法。要解决的技术问题是提供一种凹面全息光栅制作中光栅基底的双光束定位方法。技术方案为：步骤一，配备一套凹面全息光栅曝光装置；步骤二，...
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- 球差在平场全息凹面光栅设计中的作用被引量：1
- 2013年
- 基于平场全息凹面光栅几何像差理论,分析了初级像差与高阶像差特别是球差对平场全息凹面光栅成像的作用。通过一个具体的设计,分别讨论宽波段光栅和窄波段光栅设计中校正球差与否对设计结果的影响。通过对光谱像大小和各种像差系数大小进行对比分析得出以下结论:宽波段平场全息凹面光栅像差较大,决定光谱像大小的主要是初级像差,球差的影响难以显现,在进行光栅设计时可以不考虑球差;窄波段光栅的离焦像差较小,球差的影响开始变得显著,此时在设计过程中考虑球差的校正能够进一步改善光栅的成像质量。
- 孔鹏巴音贺希格齐向东李文昊崔锦江
- 关键词：光栅光谱仪全息凹面光栅
- 全息光栅制作中光栅掩模槽形形状随光刻胶特性曲线的演化规律被引量：2
- 2012年
- 为分析光栅槽形形成的基本原理及槽形随光刻胶特性曲线的演化规律,建立了显影过程中光栅掩模槽形形成的演化模型。基于光刻胶溶解速率在不同曝光量区间的变化,将光刻胶特性曲线分成3个不同区域并分析各区域在光栅掩模槽形形成中的作用,讨论了在不同光刻胶特性曲线条件下光栅掩模槽形的演化规律。结果表明:当光刻胶非线性效应显著时,掩模槽形易形成矩形或梯形,此时槽深由原始胶厚决定;当光刻胶线性效应较显著时,槽形形成正弦形同时槽深有所减小。该模型正确反映了光栅槽形随光刻胶特性曲线变化的演化规律,为通过控制光刻胶特性曲线制作多种掩模槽形提供了理论依据及方法。
- 韩建巴音贺希格李文昊孔鹏
- 关键词：全息光栅光刻胶
- 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法
- 一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法，属于光谱技术领域中涉及的凹面全息光栅曝光光路中所使用的实时监测装置的调整方法。要解决的技术问题是：提供一种调整凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的方法。技术方案为：步骤一...
- 孔鹏李文昊巴音贺希格唐玉国齐向东
