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周凯
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
复旦大学力学与工程科学系
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发文基金:
上海市教育委员会创新基金
上海市科学技术发展基金
教育部留学回国人员科研启动基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
秦琦
复旦大学力学与工程科学系
陈国荣
复旦大学材料科学系
田振夫
复旦大学力学与工程科学系
莫晓亮
复旦大学材料科学系
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真空科学与技...
年份
1篇
2012
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基于有限体积法的MOCVD系统反应室的设计
被引量:7
2012年
金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)系统是制备GaN等半导体薄膜材料和激光器、LED等光电子器件的主要手段,制备出的材料和器件的品质直接依赖于MOCVD系统。本文基于有限体积法,利用商业软件Fluent对自行设计的一种MOCVD反应室内的温度分布和流场进行数值模拟。希望通过对模拟流场品质的细致分析,对MOCVD反应室的设计和优化起到指导与参考作用。
秦琦
周凯
莫晓亮
田振夫
陈国荣
关键词:
GAN
数值模拟
有限体积法
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