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刘珠明

作品数：25 被引量：13H指数：2
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术农业科学理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇专利
  • 8篇期刊文章
  • 3篇会议论文
  • 1篇学位论文

领域

  • 11篇电子电信
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇农业科学
  • 1篇理学

主题

  • 9篇热反射
  • 6篇电子束曝光
  • 6篇光学
  • 4篇信号
  • 3篇电池
  • 3篇电子束曝光机
  • 3篇曝光机
  • 3篇热光伏电池
  • 3篇激光
  • 3篇光伏电池
  • 3篇光刻
  • 3篇光刻技术
  • 2篇电池测试
  • 2篇电池测试系统
  • 2篇电加热系统
  • 2篇电子束曝光系...
  • 2篇电子束直写
  • 2篇信号采集
  • 2篇信号采集系统
  • 2篇衍射

机构

  • 23篇中国科学院
  • 2篇北方工业大学
  • 2篇中国科学院微...
  • 2篇中国科学院大...
  • 1篇西安交通大学
  • 1篇中国石油大学...

作者

  • 25篇刘珠明
  • 11篇郑利兵
  • 8篇韩立
  • 5篇顾文琪
  • 4篇殷伯华
  • 4篇霍荣岭
  • 4篇王治平
  • 3篇张超
  • 2篇李金儒
  • 2篇杨清华
  • 2篇陆晶
  • 2篇张立辉
  • 2篇陈宝钦
  • 2篇任黎明
  • 2篇牛洁斌
  • 2篇孙方远
  • 2篇胡勇
  • 2篇汤跃科
  • 2篇王德强
  • 2篇赵珉

传媒

  • 2篇电子世界
  • 2篇第十二届全国...
  • 1篇Journa...
  • 1篇光学技术
  • 1篇光电工程
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇热科学与技术
  • 1篇中国农机化学...
  • 1篇第十四届全国...

年份

  • 4篇2021
  • 1篇2020
  • 9篇2019
  • 3篇2018
  • 1篇2006
  • 3篇2005
  • 2篇2004
  • 2篇2003
共 25 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于热反射的热物性测量系统中光束稳定控制组件设计与实现
2019年
光学系统在研究材料和器件的热问题、空间光通信问题、高精度激光加工设备等方面应用广泛。但光学系统极易受到环境中各种动态干扰的影响,如机械振动、灰尘烟雾、温度梯度等都会影响系统的稳定工作。针对基于热反射的热物性测量系统中光束不稳定性问题,本文研究了光束稳定技术原理,搭建了光束稳定子系统,嵌入到热物性测量系统中中,利用软件对其进行控制。通过对比实验,验证了光束稳定系统在热反射成像系统中的作用。
田菁万世松魏淑华郑利兵刘珠明
关键词：空间光通信光学系统热反射控制组件机械振动
一种热光伏发电系统关键部件的测试装置
本发明实施例提供了一种热光伏发电系统关键部件的测试装置，热光伏发电系统关键部件包括：辐射体、滤光片和热光伏电池，该测试装置包括：电加热系统、红外光谱仪和电池测试系统；电加热系统用于对辐射体进行加热，输出用于测试辐射体的第...
刘珠明汤亮亮张超霍荣岭王治平
文献传递
一种热光伏发电装置
本发明公开了一种热光伏发电装置，包括辐射体，被热源加热后向外发出辐射能；分光装置，设置于所述辐射体的辐射区域，包括对所述辐射能的光谱分段的至少一个对辐射能谱具有选择透过性的分光镜和不同光谱的所述辐射能射出的辐射口；热光伏...
刘珠明张超王大正郑利兵
文献传递
电子束曝光机中精密工件台的技术进展
本文介绍了精密工件台在电子束曝光机中的主要作用及其构成;阐述了精密工件台在材料、导向、驱动、控制、测量、真空密封等方面所采用的新技术.目前应用在电子束曝光机中的精密工件台达到的最好技术指标是:激光干涉仪测量的最小分辨率为...
刘俊标顾文琪薛虹方光荣刘珠明
关键词：电子束曝光技术双频激光干涉仪
文献传递
光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术被引量：4
2006年
介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,包括:(1)光学曝光系统与电子束曝光系统的匹配技术;(2)投影光刻和JBX-5000LS混合曝光技术;(3)接触式光刻机和JBX-5000LS混合曝光技术;(4)大小束流混合曝光技术或大小光阑混合曝光技术;(5)电子束与光学曝光系统混合光刻对准标记制作技术.该技术已成功地应用于纳米器件和集成电路的研制工作,实现了20nm线条曝光,研制成功了27n m CMOS器件;进行了50nm单电子器件的演试;并广泛地用于100nm化合物器件和其他微/纳米结构的制造.
陈宝钦刘明徐秋霞薛丽君李金儒汤跃科赵珉刘珠明王德强任黎明胡勇龙世兵陆晶杨清华张立辉牛洁斌
关键词：微光刻技术电子束直写
热反射测量系统
本发明公开了一种热反射测量系统，通过光路调整测量装置产生的第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，通过近场探测装置可以突破远场衍射极限，大大提高分辨率，由于分辨率会受近场探测装置与待测样品之间的距离影响...
刘珠明郑利兵孙方远殷伯华韩立
文献传递
不同类型农情监测系统间数据共享方案研究被引量：4
2019年
农业物联网迅速发展,大量的设备应用于其中。现实中,受技术条件限制,不同时间阶段搭建的物联网系统往往采用不同的技术手段来实现,同时,不同厂家生产的设备协议标准不尽相同,导致数据格式不兼容、无法共享,导致大量重复建设和资源浪费。针对这些问题,根据现有设备与农业物联网基本架构的匹配情况对现有设备进行分类,设计针对不同类型农情监测设备的改造与数据共享方案。通过在宁夏回族自治区中宁县某枸杞公司示范应用,接入35套共60多个农业物联网节点设备,日接入数据量5000条,经测试,并发接入数量小于1000个时,错误率小于2.12%,数据量在30000条以内的数据查询时间小于3872 ms,符合系统设计要求,验证该数据共享方案可行性与实效性。该技术方案可广泛应用于农业监控,以及林业、水利等领域。
王大正任博刘珠明
关键词：数据整合数据共享
光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术
中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术研究室拥有一个由美国GCA3600F图形发生器、GCA3696分步重复精缩机、日本JEOLJBX6AⅡ电子束曝光系统和JEOLJBX5000LS电子束光刻系统及美国应用材料公司捐赠...
陈宝钦任黎明胡勇龙世兵陆晶杨清华张立辉牛洁斌刘明徐秋霞薛丽君李金儒汤跃科赵珉刘珠明王德强
关键词：微光刻技术电子束直写
文献传递
热反射测量系统
本发明公开了一种热反射测量系统，通过光路调整测量装置产生的第一激光束即探测光和第二激光束即加热光均通过近场探测装置，通过近场探测装置可以突破远场衍射极限，大大提高分辨率，由于分辨率会受近场探测装置与待测样品之间的距离影响...
刘珠明郑利兵孙方远殷伯华韩立
文献传递
衍射现象对高精度偏转器设计的影响
2005年
基于波动光学理论,计算了由衍射、球差和色差三者共同作用的电子束斑电流分布,得到了电子束斑的精确信息和电子束曝光机的轴上分辨率。针对某一个具体系统的不同电子束孔径角,以偏转器的位置和相互转角为变量进行了偏转系统的优化设计;综合考虑了电子光学系统的衍射、轴上像差和偏转像差三者与光阑孔径角的不同关系。得到了光柱体的最佳总体性能,保证了电子束曝光机的高分辨率和均匀性。
刘珠明顾文琪
关键词：衍射
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