2024年11月6日
星期三
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冯昊
作品数:
109
被引量:25
H指数:3
供职机构:
西安近代化学研究所
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发文基金:
国防基础科研计划
中国人民解放军总装备部预研基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
秦利军
西安近代化学研究所
龚婷
西安近代化学研究所
惠龙飞
西安近代化学研究所
李建国
西安近代化学研究所
闫宁
西安近代化学研究所
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2014
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一种强化气-固传质的原子层沉积反应器及方法
本发明提供了一种强化气‑固传质的原子层沉积反应器及方法,驱动器的壳体可拆卸式安装在反应外腔的后端,反应外腔的前端与进气法兰相连;反应外腔内设置有前端和后端均开放的转动笼,转动笼内安装有能够随着转动笼一起转动的多维度挡板;...
冯昊
龚婷
惠龙飞
秦利军
张王乐
李建国
胡逸云
李丹
一种推进剂用碳基二氧化钛复合燃烧催化剂及其制备方法
本发明提出一种推进剂用碳基二氧化钛复合燃烧催化剂及其制备方法,制备方法主要包括将碳基基底暴露在四异丙醇钛蒸气中,使其蒸气分子在碳基基底表面进行化学与物理吸附;利用惰性气体将表面物理吸附的四异丙醇钛分子吹离;将碳基基底暴露...
冯昊
李建国
李丹
龚婷
秦利军
张王乐
惠龙飞
一种利用原子层沉积包覆层降低锆粉静电火花感度的方法
本发明公开了一种利用原子层沉积包覆层降低锆粉静电火花感度的方法。该气相沉积方法使两种反应前躯体交替通过反应腔,在锆粉颗粒表面发生化学反应生成无机、无机?有机或有机包覆层。包覆层完整、均匀的覆盖了锆粉颗粒的全部外表面,其厚...
冯昊
秦利军
龚婷
闫宁
李建国
惠龙飞
郝海霞
姜菡雨
一种丙烯环氧化反应中催化剂失活后的低温再生方法
本发明提供了一种丙烯环氧化反应中催化剂失活后的低温再生方法,该方法包括以下步骤:首先,将反应失活后的丙烯环氧化反应中催化剂装于石英反应管中,在O<Sub>2</Sub>/惰性气体的气氛下进行焙烧,焙烧温度为100~200...
李丹
冯昊
秦利军
李建国
龚婷
张王乐
惠龙飞
胡逸云
一种铁钛复合催化剂、制备方法及应用
本发明涉及一种铁钛复合催化剂、制备方法及应用,包括钛酸纳米管,在所述的钛酸纳米管的表面沉积Fe<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>;所述的钛酸纳米管的尺寸为:长度50~200nm,平均外径13nm,平均内径...
冯昊
李丹
李建国
秦利军
龚婷
张王乐
惠龙飞
胡逸云
一种小尺度、高分散Pd/C催化剂的气相合成方法
本发明提供了一种小尺度、高分散Pd/C催化剂的气相合成方法。该方法利用含有Pd的金属有机化合物蒸汽与载体表面的特定基团之间的气-固界面反应实现Pd元素在载体表面的固载,然后使用还原性气体使固定在表面的Pd元素还原。以上过...
冯昊
龚婷
万洪
张伟
秦利军
文献传递
一种脉冲式均匀薄膜快速气相沉积的装置与方法
本发明公开一种脉冲式均匀薄膜快速气相沉积的装置与方法,包括反应腔室、设在反应腔室一端的取样部以及反应腔室另一端的多个前驱体蒸汽注入单元;前驱体蒸汽注入单元包括前驱体蒸汽管路和惰性载气管路且二者汇合为主管路后伸入反应腔室、...
冯昊
李建国
张王乐
惠龙飞
秦利军
文献传递
原子层沉积技术合成氧化铝薄膜包覆二硝酰胺铵
被引量:3
2014年
通过原子层沉积(ALD)技术以三甲基铝和水作为前驱体在二硝酰胺铵(ADN)表面沉积氧化铝包覆膜。分别采用扫描电子显微镜(SEM),X射线光电子能谱(XPS)对包覆后ADN的表面形貌、化学成分进行了分析,通过蒸汽吸附分析仪(VSA)对包覆氧化铝薄膜的ADN样品进行了吸湿性测试,并且对ADN表面氧化铝薄膜生成机理进行了探讨。结果表明:ALD氧化铝薄膜对ADN表面形成了完整的包覆,薄膜厚度最高可达数百纳米。包覆有ALD氧化铝薄膜的ADN样品暴露在潮湿空气中48 h形貌不发生明显变化。在25℃,湿度70%的环境条件下,VSA测得包覆200和400周期氧化铝薄膜的ADN吸湿率分别为40.99%和40.75%。以上研究结果表明,尽管ALD氧化铝对ADN表面实现了完整包覆并在潮湿空气中维持了样品形貌,被包覆的ADN样品吸湿性尚未获得明显改善。
龚婷
秦利军
严蕊
胡岚
姬月萍
冯昊
关键词:
氧化铝
一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器
本实用新型公开了一种腔内体积可调的快速气相沉积反应器,包括反应器腔室和体积调节器;反应器腔室上设置有进气口、出气口和样品取送口;体积调节器包括体积占空件以及用于与反应器腔室连接的连接部,体积占空件的体积小于反应器腔室的内...
冯昊
李建国
张王乐
惠龙飞
龚婷
文献传递
一种高导热晶态氮化铝薄膜的制备方法
本发明提供了一种高导热晶态氮化铝薄膜的制备方法,该方法采用原子层沉积法进行制备,铝源为三甲基铝或三乙基铝;含氮前驱体为氨气;所述的原子层沉积反应腔的温度为300~350℃;进行多个原子层沉积的循环周期制备高导热晶态氮化铝...
冯昊
张王乐
严家佳
苏健军
李建国
惠龙飞
龚婷
秦利军
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