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陈军宁
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
合肥工业大学电子科学与应用物理学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
孙金坛
合肥工业大学电子科学与应用物理...
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机构
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文献类型
2篇
中文期刊文章
领域
2篇
电子电信
主题
1篇
压力效应
1篇
氧化层
1篇
热稳定
1篇
热稳定性
1篇
吸杂
1篇
敏感特性
1篇
激光
1篇
激光损伤
1篇
硅片
1篇
感器
1篇
MESFET
1篇
传感
1篇
传感器
1篇
GAAS
机构
2篇
合肥工业大学
作者
2篇
陈军宁
2篇
孙金坛
传媒
1篇
电子学报
1篇
中国激光
年份
1篇
1994
1篇
1993
共
2
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被引量排序
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硅片背面激光损伤的吸杂效果
1993年
本文介绍了硅片背面激光损伤吸杂实验,用金相显微镜观察证实了高温退火后激光损伤的热稳定性,研究了激光损伤对氧化层错(OSF)和载流子寿命的影响,用中子活化分析法测出了吸杂效果。
孙金坛
陈军宁
关键词:
激光损伤
热稳定性
氧化层
硅片
GaAs MESFET的压力敏感特性
被引量:2
1994年
本文研究了GaAsMESFET对应力的敏感特性,分析了敏感原理。对GaAsMESFET用作力学量传感器的可能性进行了讨论。
孙金坛
陈军宁
关键词:
GAAS
MESFET
压力效应
传感器
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