郭天义
- 作品数:6 被引量:2H指数:1
- 供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
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- 在磷化铟衬底上制备T型栅的方法
- 公开了在磷化铟衬底上制备T型栅的方法包括:A、清洗磷化铟衬底外延片,在真空烘箱内将六甲基二硅氨烷(HMDS)蒸发在清洗后的外延片上;B、在上述外延片上匀第一层电子束胶PMGI,前烘;C、在上述第一层电子束胶PMGI上匀第...
- 黄杰郭天义张海英杨浩
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- 半导体参数测试系统
- 本实用新型属于半导体测试技术领域,特别涉及一种用于晶体管参数测试的半导体参数测试系统,包括探针系统、数字源表、PC机、温度控制装置、抽真空装置和软件系统;抽真空装置将半导体器件吸附在探针系统中的样品台上;探针系统中的传输...
- 卞金鑫黄杰李洪涂浩陈麟彭滟贾晓轩杜少卿郭天义徐静波朱亦鸣
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- 太赫兹时域光谱法测定高电子迁移率晶体管的截止工作频率
- 2012年
- 随着高速半导体器件的发展,高电子迁移率晶体管(HEMT)的工作频率已经达到亚太赫兹波段,所以无法简单地通过传统电学方法进行检测。鉴于此,必须采用超快光学方法测定HEMT器件的截止工作频率。利用持续时间更短的飞秒脉冲激光瞬时关断处于饱和工作状态下的HEMT器件,并且采用太赫兹时域光谱技术测量在器件被关断后电流的变化情况(时间是皮秒量级),最后,利用所测量到的太赫兹波形(即源漏电流随时间变化的曲线)和截止工作频率的关系,直接推算出可达到亚太赫兹波段的HEMT器件的截止工作频率。
- 谢乐卞金鑫李洪杜少卿陈麟彭滟张海英徐静波郭天义付晓君杨浩朱亦鸣
- 关键词:光生载流子截止频率太赫兹时域光谱
- 在磷化铟衬底上制备T型栅的方法
- 公开了一种在磷化铟衬底上制备T型栅的方法包括A、清洗外延片,在真空烘箱内将六甲基二硅氨烷HMDS蒸发在清洗后外延片上;B、在外延片上匀第一层电子束胶ZEP520A,前烘;C、在所述第一层电子束胶ZEP520A上匀第二层电...
- 黄杰郭天义张海英杨浩
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- 在磷化铟衬底上制备T型栅的方法
- 公开了一种在磷化铟衬底上制备T型栅的方法包括A、清洗外延片,在真空烘箱内将六甲基二硅氨烷HMDS蒸发在清洗后外延片上;B、在外延片上匀第一层电子束胶ZEP520A,前烘;C、在所述第一层电子束胶ZEP520A上匀第二层电...
- 黄杰郭天义张海英杨浩
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- 基于UWB系统的巴伦滤波器组合器件被引量:2
- 2010年
- UWB超宽带系统的快速发展对滤波器和巴伦的带宽、损耗提出了新的要求。平衡滤波器能够实现良好的匹配和滤波特性,插入损耗较小,但仅适用于窄带情况;表贴巴伦和滤波器同时使用时不仅占用较大面积,彼此间的干扰会降低系统性能。本文采用补偿法,将多层LC滤波器和宽带Marchand巴伦通过耦合电容连接制作在同一LTCC基板内,减小面积的同时,缺点互补,巴伦改善了滤波器的衰减特性,滤波器改善了巴伦的匹配特性,适用于UWB宽带应用。根据这一思路制作的巴伦-滤波器的中心频率为7.65GHz,带宽为1GHz,幅度失配≤0.2dB,相位失配≤4.5°,5GHz处带外衰减≥60dB,9GHz处带外衰减≥40dB,元件尺寸为7mm*3mm*0.6mm。
- 杜泽保朱旻张海英郭天义
- 关键词:滤波器LTCCUWB