谢克文
- 作品数：11 被引量：30H指数：4
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程电子电信理学机械工程更多>>
- 硅基微燃料电池中电极层的研究
- 介绍一种基于MEMS技术的硅微燃料电池,并对其核心部件—电极层进行了研究.利用多孔硅疏松多孔的特性,及IC加工的兼容性,使其作为微燃料电池的电极扩散层,优化了其制备工艺,并对多孔硅膜表面金属铂的沉积工艺进行了研究.
- 王晓红谢克文周俊刘理天
- 关键词：多孔硅MEMS
- 文献传递
- 基于MEMS技术的微型燃料电池的制作被引量：8
- 2004年
- 提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的硅基微型直接甲醇燃料电池的制作工艺流程。该微型燃料电池采用KOH体硅腐蚀技术得到流体通道,并溅射金属Pt层作为收集电流的电极。采用PDMS将两块带有微通道的燃料电池硅片与涂有催化剂层的质子交换膜密封粘合。制作得到的微型燃料电池单元的流道有效尺寸为:8 6mm×8 6mm。室温常压下,单电池的开路输出电压为0 4V左右。当输出电压为0 21V时,达到最大输出功率15 6μW(21 1μW/cm2)。
- 谢克文王晓红姜英琪刘理天
- 关键词：直接甲醇燃料电池
- 基于MEMS技术的微型燃料电池的模型、设计及制作
- 谢克文
- 关键词：微机电系统直接甲醇燃料电池计算流体力学
- 多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用
- 多孔硅作为一种新型材料,利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性,将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中,作为其电极扩散层.对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究,提出一套基于MEMS加工技术和薄...
- 王晓红谢克文周俊刘理天
- 关键词：微型质子交换膜燃料电池多孔硅
- 文献传递
- 基于CFD的DMFC阳极三维模型的建立
- 本文提出基于计算流体力学方法的直接甲醇燃料电池阳极的三维模型,并模拟了液体燃料供给的平行沟道流场结构直接甲醇燃料电池的性能.该模型考虑直接甲醇燃料电池阳极燃料的质量传输,特别是多孔介质对于燃料输运的影响,根据燃料质量传输...
- 钟凌燕王晓红谢克文姜英琪
- 关键词：直接甲醇燃料电池计算流体力学多孔介质
- 文献传递
- 基于CFD的DMFC阳极三维模型的建立
- 提出基于计算流体力学方法的直接甲醇燃料电池阳极的三维模型,并模拟了液体燃料供给的平行沟道流场结构直接甲醇燃料电池的性能。该模型考虑直接甲醇燃料电池阳极燃料的质量传输,特别是多孔介质对于燃料输运的影响,根据燃料质量传输性质...
- 钟凌燕王晓红谢克文姜英琪
- 关键词：多孔介质
- 文献传递
- 多孔硅技术在硅基微型燃料电池中的应用被引量：1
- 2003年
- 多孔硅作为一种新型材料，利用其疏松多孔的特性及与IC加工的兼容性，将其用于硅微质子交换膜燃料电池的研究中，作为其电极扩散层，对多孔硅膜的性能、制备工艺及多孔硅膜表面金属淀积工艺进行了研究，提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的制作硅微质子交换膜燃料电池的工艺。
- 王晓红谢克文周俊刘理天
- 关键词：微型质子交换膜燃料电池多孔硅MEMS
- 硅基微型直接甲醇燃料电池的研究被引量：8
- 2005年
- 设计了一种基于MEMS技术的硅基微型直接甲醇燃料电池(DMFC),采用流体力学软件进行了DMFC三维阳极模型的模拟,利用MEMS加工技术和PDMS封装工艺实现了这种燃料电池,并在室温下对有效面积为8600μm×8600μm的电池样品进行了性能测试.测试得到该DMFC的开路输出电压为0.5V,短路工作电流密度达到78.1mA/cm2,最大输出功率密度为3.86mW/cm2.主要参数已达到了一些电子器件的要求,具有一定的实用价值.
- 王晓红谢克文姜英琪钟凌燕刘理天
- 关键词：直接甲醇燃料电池PDMSMEMS
- 用于MEMS的选择性形成多孔硅技术的研究被引量：6
- 2002年
- 提出了一套采用扩散工艺在低掺杂的硅衬底上选择性形成多孔硅牺牲层 ,并制作了 MEMS器件结构的工艺流程 ,进行了工艺流水 .对得到的结果进行了详细的讨论 .对于
- 谢克文王晓红陈兢刘理天
- 关键词：MEMS多孔硅牺牲层掺杂硅衬底
- 基于微机械的多孔硅牺牲层技术被引量：7
- 2004年
- 多孔硅作为一种牺牲层材料 ,在表面硅微机械加工技术中有着重要的应用。文中综合讨论了三种不同的多孔硅牺牲层技术 ,并用后两种“在低掺杂衬底上的多孔硅牺牲层技术”,制作了良好的悬空微薄膜结构 ,同时对多孔硅表面的薄膜淀积 ,和制备过程中的掩膜材料等进行了分析 ,为利用多孔硅工艺制作各种 MEMS器件奠定了基础。
- 周俊谢克文王晓红刘理天
- 关键词：多孔硅牺牲层微机电系统
