虞承端
- 作品数：4 被引量：21H指数：3
- 供职机构：中国科学院合肥智能机械研究所更多>>
- 发文基金：国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信医药卫生更多>>
- 电化学腐蚀技术在制作硅谐振式微力传感器中的应用被引量：4
- 2001年
- 一、引言
微力传感器在微量称重、液体表面张力分析以及生物体微组织力测量等领域具有广阔的应用前景.我国以前自主研制的微力传感器基本上都是采用半导体应变片和扩散硅制成的压阻式传感器,其主要缺点是漂移较大,要实现高精度测量与长期监测较为困难.而谐振式传感器由于具有频率输出、高稳定性和高分辨率等优点,被看作是力敏传感器的发展趋势之一.国外已研制出力、压力、加速度等多种谐振式固态传感器,其中荷兰Twente理工大学研制出一种硅谐振式微力传感器,其量程仅为0～0.4牛顿.该传感器的核心敏感元件是一个6×0.4×0.02mm3的双端固支谐振硅梁,由各向异性腐蚀技术加工而成.
- 孔德义虞承端梅涛陈永李科熊小义
- 关键词：微力传感器
- 电子肌力仪——一种新型实用的肌力定量化检查工具被引量：2
- 1991年
- 为了开展肌力定量化研究,我们共同研制成功MVC-Ⅰ型电子肌力仪。本仪器适用范围广,可测量身体大小肌群最大等长随意收缩力(maximal voluntary isometric contraction MVC),能准确快速地以数字显示所测值,使用方便,是康复临床肌力评定较理想的工具, 一、系统结构及工作原理MVC-Ⅰ型电子肌力仪由压力传感器和信号处理电路两部分组成,后者包括前置放大器、低通滤波器、峰值保持器。
- 窦祖林杨煜普周平虞承端
- 关键词：肌力测量仪
- 基于厚膜技术E型三维加速度传感器的设计被引量：12
- 2001年
- 提出采用厚膜技术设计一种一体化三维加速度传感器 ,其采用E型结构和特殊的组桥方式实现对三维加速度信息的检测。介绍了传感器的结构 ,并详细讨论了传感器工作原理和维间耦合问题。由于E型结构的对称性 ,使得所设计的三维加速度传感器在低量程、高灵敏度应用场合中具有良好的特性。
- 吴仲城戈瑜虞承端
- 关键词：厚膜技术三维加速度传感器
- 微机械加工技术与微传感器被引量：3
- 2001年
- 传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化,微机械加工技术则是硅微传感器的基础工艺技术,也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术。本文介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器。
- 虞承端
- 关键词：微机械加工微传感器LIGA技术
