王季陶
- 作品数：89 被引量：192H指数：9
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划高等学校骨干教师资助计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信化学工程一般工业技术更多>>
- 低介电常数非晶氟碳薄膜光谱表征被引量：7
- 2001年
- 以C4 F8 和CH4 为原料气 ,通过等离子体增强化学气相淀积的方法制备了非晶氟碳薄膜 ,在实验条件下所得薄膜的介电常数为 2 3。薄膜的傅里叶变换红外光谱表明该薄膜中除了含有CFn(n=1～ 3)基团外 ,还含有少量的 CO ,CC 等不饱和双键 ,没有迹象表明C—H和O—H的存在。X射线光电子能谱进一步证明了薄膜中的碳元素有六种不同的化学状态分别为CF3 (8% )、CF2 (19% ) ,CF(2 6 7% )、C—CFn(4 2 5 % ) ,C—C(3 3% )和CO (0 5 % ) ,表明薄膜中大约 5 4%的碳原子与氟成键 ,大约 43%的碳原子不是与氟成键 ,而是与碳氟基团CFn 中的碳原子成键 ,毗连的两个碳原子上均没有氟参与成键的几率很小。
- 丁士进王鹏飞张卫王季陶李伟
- 关键词：傅里叶变换红外光谱X射线光电子能谱
- 低压化学汽相淀积金属铜薄膜
- 曹传宝王季陶
- 关键词：低压化学汽相沉积铜金属薄膜
- 添加氧影响下低压金刚石生长的条件被引量：4
- 1998年
- 采用非平衡热力学耦合模型研究金刚石在ＣＯ－Ｈ２、ＣＯ－Ｏ２－Ｈ２体系中的生长情况，计算不同氧含量下的金刚石生长相图，固定氧氢比考察压力变化对金刚石生长区的影响，讨论了不同氧氢含量对金刚石生长区的影响．与经典的平衡热力学理论计算所得的相图不同，本文的相图均有金刚石生长区，可以很好地解释低压下金刚石在气相中的生长，还可以用于指导低压金刚石生长的实验研究．
- 刘志杰万永中张卫张剑云王季陶
- 关键词：相图金刚石低压
- 等离子体增强化学气相淀积a-SiCOF薄膜的稳定性研究被引量：1
- 2001年
- 以正硅酸乙酯 (TEOS) /C4 F8/Ar为气源 ,采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备了低介电常数a SiCOF介质薄膜 ,并借助X射线光电子能谱 (XPS)和傅立叶变换红外光谱 (FTIR)对薄膜的化学键结构、热稳定性和抗吸水性进行了研究。
- 丁士进张庆全王鹏飞张卫王季陶
- 关键词：稳定性XPSFTIR红外光谱氧化硅薄膜
- 低介电常数绝缘介质α－SiCOF薄膜及其制备方法
- 一种低介电常数绝缘介质α－SiCOF薄膜(非晶硅碳氧氟薄膜)及其制备方法。现有该类产品介电常数较高、薄膜漏电流密度大、介电强度和电学稳定性不理想,且生产成本偏高。本发明用等离子增强化学气相淀积装置制备了低介电常数绝缘介质...
- 王鹏飞丁士进张卫王季陶
- 文献传递
- 含氟气相体系低压生长金刚石的相图计算
- 1999年
- 根据非平衡热力学耦合模型计算得到了C—H—F体系金刚石生长相图,该相图与根据经典平衡热力学计算得到的平衡相图不同,存在金刚石生长区,可以很好地解释在低压C—H—F体系中可以生长金刚石,并与实验结果符合良好。因而对该体系金刚石制备的实验条件选取有指导作用.
- 刘志杰张卫张剑云丁士进王季陶
- 关键词：金刚石气相生长低压相图
- 金刚石低压气相生长热力学模型
- 激活低压金刚石新工艺中金刚石气相生长和石墨腐蚀可以同时发生的现象，给经典热力学带来困惑，无法用经典的平衡相图来给予解释。从1990年起研究人员计算了该工艺的一系列非平衡定态相图与文献上报道的大量实验事实相符。该文根据现代...
- 王季陶
- 关键词：金刚石热力学模型相图
- 文献传递
- Y(BO_3,PO_4):Ce,Tb,Gd的发光特性研究被引量：18
- 2000年
- 用ＢＰＯ４和稀土氧化物为原料，通过单步灼烧，首次合成了铈、铽、钆共激活的硼磷酸钇绿色荧光粉，利用发射光谱和激发光谱研究了基质中Ｃｅ３＋、Ｔｂ３＋、Ｇｄ３＋的发光以及它们之间的相互作用。结果表明在铈、铽或钆、铽的双掺杂体系中存在Ｃｅ３＋→Ｔｂ３＋、Ｇｄ３＋→Ｔｂ３＋的能量传递，而在铈、轧双掺杂的体系中却观察到了Ｃｅ３＋和Ｇｄ３＋离子之间的竞争吸收和独自发射。在铈、铽并激活的硼磷酸钇钆体系中掺入钆后，Ｃｅ３＋的发射强度比Ｔｂ３＋的发射强度增加得更多，并认为Ｃｅ３＋离子发射增强是由铈到铽的能量传递受阻引起的，Ｔｂ３＋离子的发射增强是由于钆离子将吸收的能量有效地传递给铽离子所致。在上述体系中钆离子在铈离子到铽离子的能量传递过程中所起的阻碍作用可归因于铈离子的５ｄ能级低于钆离子的６Ｉ和３Ｐ能级，使得钆离子不能从铈离子处吸收能量并传递给铽离子。若基质中的钇全部被钆代替，则所得到的荧光粉发光亮度增加，但色坐标ｘ值稍有减小，所以适当控制基质中钆的掺入量对提高荧光粉的发光特性有利。
- 丁士进张卫徐宝庆王季陶
- 关键词：荧光粉发射光谱激发光谱
- 反应耦合现象和现代热力学分类系统
- 2002年
- 现代热力学的一个重要推论———反应耦合现象 ,长期来没有得到很好的论证 ,还引发了长期的争论 ,严重地阻碍着热力学在现代科学中的应用和热力学自身的发展。本文以激活低压金刚石气相生长为例 ,为反应耦合现象提供了定量化的证明 。
- 王季陶
- 关键词：现代热力学热力学第二定律教学
- 非平衡定态相图在含氮体系低压金刚石沉积中的应用
- 1999年
- ０前言最近几年低压金刚石制备研究中，出现了一类以含氮气相混合物为原料的制备方法，正逐渐被人们所重视：少量氮原子的存在（甚至是ｐｐｍ级）可以显著提高金刚石薄膜的淀积速率，改善薄膜质量［１，７］。本文报道根据非平衡热力学耦合理论［１０］，首次计算得到了含...
- 刘志杰张卫张剑云丁士进王鹏飞王季陶
- 关键词：金刚石非平衡定态相图
