毛海央
- 作品数：122 被引量：97H指数：6
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金霍英东基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>
- 静电注入对55nm MV/HV GGNMOS ESD性能的影响被引量：1
- 2021年
- 静电防护问题是提升集成电路可靠性面临的主要挑战之一。基于55 nm HV CMOS工艺,研究了静电注入对中压(MV)和高压(HV)GGNMOS(Gate-Grounded NMOS)器件静电防护性能的影响。研究结果表明,对MV GGNMOS器件来说,静电注入能够在有效降低开启电压(V_(t))、保持电压(V_(h))的同时,减小对二次击穿电流(I_(t2))的影响,且注入面积的改变对器件性能的影响极为有限;对HV GGNMOS器件来说,提高静电注入浓度能够有效提高静电防护能力。
- 王新泽毛海央毛海央龙克文
- 关键词：静电防护
- 一种湿度传感器及其制备方法
- 本发明涉及一种湿度传感器及其制备方法。一种湿度传感器，包括：半导体衬底；半导体衬底表面形成有介电层；介电层上表面设有金属电容器结构；金属电容器结构上方覆盖有堆叠的多层湿敏层，其中至少一层湿敏层为金属氧化物，至少一层湿敏层...
- 周娜毛海央李俊杰高建峰杨涛李俊峰
- 一种热电堆智能温度传感系统
- 本公开提供了一种热电堆智能温度传感系统，包括：探测器、处理器以及执行器；其中，所述探测器被配置为通过冷端探测环境温度，通过热端探测待测目标的温度，并根据所述冷端和所述热端之间的温差输出第一热电动势；所述处理器被配置为根据...
- 毛海央石磊周娜施一直石梦张起睿郭启明吴晋涛
- 一种转移纳米森林结构的方法
- 本发明涉及一种转移纳米森林结构的方法，该方法利用可释放型胶带的可控粘附性与磁场吸附的原理，成功地将纳米森林结构从原始基底转移至目标基底，由于目标基底种类多样化，因此扩大了纳米森林结构的应用场景，同时提高了纳米森林结构在应...
- 李茂毛海央周娜
- 一种nTSV-BPR电学测试结构及其制备方法
- 本发明提供一种nTSV‑BPR电学测试结构及其制备方法，该方法包括如下步骤：提供衬底并对衬底进行刻蚀形成BPR沟道；沉积BPR导电材料以填充BPR沟道；对沉积的BPR导电材料进行刻蚀，形成所需形状的BPR；对衬底中的Si...
- 毛海央 李涵辉 周娜刘欣
- 热电堆及其制作方法
- 一种热电堆及其制作方法，所述制作方法包括如下步骤：在衬底正面形成热电堆结构；在衬底背面形成掩膜层；采用干法刻蚀，在掩膜层上形成定位刻蚀窗口；采用博世刻蚀，对定位刻蚀窗口区域的衬底进行第一步刻蚀释放；采用反应离子刻蚀，进行...
- 周娜李俊杰毛海央高建峰杨涛李俊峰王文武
- 文献传递
- 基于MEMS的新型红外光源
- 本设计中，采用对多晶硅进行不完全干法刻蚀的方法制备黑硅，并将此作为MEMS红外光源的辐射层材料，提高了光源在中红外波段的发射率。另外，本设计采用独特的完全悬浮结构，降低了光源通过热传导的能量损耗。对比现有的MEMS红外光...
- 任耀辉谭秋林欧文明安杰毛海央袁烽张宇张乐
- 关键词：红外光源微机电系统发射率
- 文献传递
- 一种SERS基底及其制备方法
- 本发明公开了一种SERS基底的制备方法，包括：提供衬底；在所述衬底上形成聚合物层；采用等离子体直接对聚合物层进行轰击，以形成柱状纳米结构；覆盖金属层。该方法形成的SERS基底，可以有效增强拉曼散射信号，工艺简单且可控性强...
- 毛海央唐力程
- 文献传递
- 一种多样性纳米结构的加工方法
- 本发明涉及一种多样性纳米结构的加工方法，其步骤包括：1)准备并清洗衬底；2)在衬底的表面上依次沉积薄膜一和薄膜二；3)在薄膜二上旋涂光刻胶，并对光刻胶进行前烘和曝光，在薄膜二上形成光刻胶图形一；4)采用氧等离子体去胶机对...
- 毛海央吴文刚张煜龙郝一龙王阳元
- 文献传递
- 复合量程微加速度计的研究被引量：9
- 2006年
- 在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求.针对类似的需求,介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复合量程微加速度计,四个微加速度计量程分别为100g、500g、1000g和2000g.除了主要介绍微加速度计阵列的设计、制造和测试外,还着重介绍了低量程传感器在高过载环境下的结构防护问题.线性测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线性度,因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值.
- 熊继军毛海央张文栋徐栋郭涛
- 关键词：压阻式体硅工艺线性度
