柳克银
- 作品数:17 被引量:4H指数:1
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- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术理学文化科学更多>>
- 一种石英材料内部的螺线管微电感的制备方法
- 一种石英材料内部的螺线管微电感的制备方法,加工无磁芯结构螺线管微电感和有磁芯结构螺线管微电感。通过飞秒激光诱导化学腐蚀工艺在石英材料内部加工出三维螺旋微通道;结合微流体工艺将液态导电介质导入该螺旋微通道中,导电介质固化后...
- 杨青陈烽柳克银何圣关赵玉龙山超
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- 利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法
- 利用飞秒激光在石英玻璃内部制造三维微螺旋通道的方法,首先飞秒激光光束聚集在石英玻璃下表面,石英玻璃固定在三维精密工作台上,使飞秒激光束焦点在石英玻璃内部由下而上扫描出所需微螺旋轨迹轮廓;然后将扫描出的石英玻璃基底浸泡在氢...
- 杨青李村何圣关柳克银陈烽赵玉龙
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- 多焦点透镜及其加工设备、加工方法
- 本发明提出一种多焦点透镜及加工设备和方法,包括产生飞秒激光脉冲280的飞秒激光发生器210、参数调制光路220、光学CCD230、半透半反镜240、光学聚焦镜头250、硬质基板260以及三维平移台270;飞秒激光发生器2...
- 陈烽杨青边浩杜广庆柳克银
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- 毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法
- 本发明涉及毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法,通过将洛高夫斯基线圈的总体尺寸设计在亚厘米或数毫米以内、线圈的特征尺寸在数百微米至数十微米以内,实现对于超过兆赫兹乃至百G赫兹的交流信号的超高频超宽带电流信号测量。通过...
- 杨青陈烽柳克银孟祥卫山超
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- 一种硅基聚合酶链式反应微池芯片
- 一种硅基聚合酶链式反应微池芯片,包括基体,基体和电路板连接,基体的正面设置有四个微反应腔,在基体的背面对应于对应于微反应腔底部的位置均集成有微加热器和微温度传感器,微加热器通过电路板的电极与外部电源连接,微温度传感器通过...
- 赵玉龙聂金泉刘亦敏柳克银彭年才蒋庄德
- 飞秒激光湿法刻蚀微纳制造被引量:4
- 2014年
- 飞秒激光微加工作为一种新型微纳制造技术,在复杂三维构型制作方面具有其独特的优势,但激光加工效率问题严重制约了飞秒激光微加工技术走向实际工程应用,提出一种飞秒激光湿法刻蚀微纳制造方法,以提高飞秒激光微加工的效率为突破口,通过调控激光与物质相互作用获得材料的目标靶向改性,进而结合化学湿法刻蚀实现硬质材料上的高效和高精度三维微加工,采用这一方法制作出的微透镜尺寸为80μm,球冠高6.7μm,表面粗糙度小于10nm。利用这种方法,实现了不同结构与特性的高质量微透镜阵列的超精密制备,在石英内部也实现了螺旋微通道的复杂三维结构,螺旋通道直径为20μm,长径比超过100。
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- 关键词:飞秒激光湿法刻蚀微透镜微通道
- 三维静态及动态显微检测系统及方法
- 本发明的目的在于提出一种三维静态及动态显微检测系统包括光学系统和图像分析计算机140;光学系统包括依次设置在同一光轴上的光源100、汇聚透镜101、孔径光阑102、滤波片103、具有多个焦距的多焦点透镜120、光学采集C...
- 陈烽杨青边浩杜广庆柳克银
- 一种玻璃基微流控芯片的超声波加工方法
- 一种玻璃基微流控芯片的超声波加工方法,先加工探头,然后在玻璃基板上表面粘贴胶带下表面贴一块玻璃片,再进行超声波加工,化学腐蚀抛光,最后清洗完成芯片制作,本发明可广泛应用于玻璃基微流控芯片和其它硬质材料生物芯片的制作,具有...
- 赵玉龙柳克银李磊杨青彭年才蒋庄德陶晓明
- 飞秒激光湿法刻蚀技术制备石英内部真三维微线圈及微传感器的研究
- 感器是一个重要的功能元件,它被广泛的应用于电子电路、制动装置和MEMS系统等.利用飞秒激光微加工技术在透明介质内部制备均匀性、性能良好,能够满足实际应用要求的真三维微传感器件,是微加工领域的研究热点.论文主要研究了利用飞...
- 山超杨青陈烽孟祥卫柳克银李彦阳
- 关键词:微传感器
- 毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法
- 本发明涉及毫米级超高频超宽带电流传感器及其制备方法,通过将洛高夫斯基线圈的总体尺寸设计在亚厘米或数毫米以内、线圈的特征尺寸在数百微米至数十微米以内,实现对于超过兆赫兹乃至百G赫兹的交流信号的超高频超宽带电流信号测量。通过...
- 杨青陈烽柳克银孟祥卫山超
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