您的位置： 专家智库 > >

柏鹭

作品数：7 被引量：14H指数：3
供职机构：西南科技大学信息工程学院更多>>
发文基金：中国工程物理研究院科技发展基金四川省教育厅重大培育项目更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 7篇电子电信
  • 4篇机械工程

主题

  • 6篇微电子
  • 6篇微电子机械
  • 6篇微电子机械系...
  • 4篇MEMS
  • 3篇移相器
  • 3篇开关
  • 3篇X波段
  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂梁
  • 2篇移相器设计
  • 2篇RF_MEM...
  • 1篇直流
  • 1篇直流偏置
  • 1篇射频微电子机...
  • 1篇深反应离子刻...
  • 1篇偏置
  • 1篇倾斜角
  • 1篇谐振频率
  • 1篇离子刻蚀
  • 1篇开关设计

机构

  • 7篇西南科技大学
  • 6篇中国工程物理...
  • 3篇重庆大学

作者

  • 7篇柏鹭
  • 6篇高杨
  • 5篇贾小慧
  • 4篇王强
  • 3篇郑英彬
  • 1篇张茜梅
  • 1篇秦燃

传媒

  • 4篇微纳电子技术
  • 1篇半导体光电
  • 1篇信息与电子工...

年份

  • 5篇2011
  • 2篇2010
共 7 条 记 录，以下是 1-7
全选 清除 导出
排序方式：
4位开关线式MEMS移相器设计
开关线式MEMS(微电子机械系统)移相器具有低损耗、宽频带、易集成、高隔离、高相移精度和结构简单等优点,广泛应用于移动通信、卫星通信、相控阵雷达等领域中。但目前由于工艺限制,器件样品的尺寸较大,并且加工过程还存在难点。本...
柏鹭
关键词：微电子机械系统移相器机械性能
文献传递
基于SP4T开关的4位MEMS开关线式移相器设计被引量：2
2011年
设计了一款4位MEMS开关线式移相器,由SP4TMEMS开关和微带传输线构成,工作于X波段。单刀四掷(single pole 4throw,SP4T)开关用于切换两条不同电长度的信号通道,即参考相位通道和延迟相位通道。每个SP4T开关包含4个悬臂梁接触式RF MEMS串联开关。介绍了4位MEMS开关线式移相器的总体设计,并给出了其关键部件SP4T开关和相位延迟线的设计细节。采用ADS软件仿真分析了器件的电气性能。仿真分析得到:SP4T开关在中心频率10GHz处的回波损耗为-36dB,插入损耗约为0.18dB;移相器各相位的回波损耗均低于-15dB,插入损耗为-0.8～-0.4dB。这种射频MEMS移相器具有小型化、低功耗和高隔离度的优点。
高杨柏鹭郑英彬张茜梅秦燃
关键词：开关X波段
交直流隔离的分布式MEMS移相器设计被引量：3
2011年
设计了一种五位分布式微电子机械系统(MEMS)移相器,通过分析对比传统分布式MEMS移相器加载直流偏置的两种方式,提出了一种新的直流偏置的加载方式,能解决传统方式带来的交直流干扰和引线繁杂问题,同时工艺容易实现。采用ADS软件对移相器进行级联仿真,优化了微波性能参数,仿真得出移相器在35 GHz时移相精确度小于3°,移相器的插入损耗小于0.5 dB,回波损耗大于23 dB。给出了五位分布式MEMS移相器的工艺流程,同时验证了所设计加载直流偏置方式工艺简单的优势。
贾小慧高杨郑英彬柏鹭
关键词：微电子机械系统直流偏置
Ka波段五位分布式MEMS传输线移相器设计被引量：4
2011年
通过在共面波导上周期性地加载分布电容,外加驱动电压改变电容值,实现分布式MEMS移相器。首先给出了5位分布式MEMS移相器的总体结构图,分析了理论参数的设计方法。再采用HFSS建立单个微桥的三维电磁仿真模型,利用仿真得到的S参数拟合微桥的up态和down态电容值并与理论设计电容值对比,确定MEMS桥精确的结构参数。最后采用ADS建立分布式MEMS移相器整体的微波等效电路,仿真得出移相器的性能指标参数。仿真结果表明移相器在35GHz时移相精度小于0.6°,移相器的插入损耗小于0.3dB,回波损耗大于25dB。
贾小慧高杨柏鹭王强
关键词：射频微电子机械系统传输线
悬臂梁接触式RF MEMS串联开关工艺设计被引量：2
2011年
报道了一款用于X波段的悬臂梁接触式RF MEMS串联开关的微加工工艺设计。首先,介绍了该悬臂梁接触式MEMS串联开关的基本工作原理;然后,简单描述了其结构组成和尺寸参数;最后,对掩膜版和对位标记的设计做了相应介绍。工艺方案设计包括初步工艺设计和根据实际加工条件的方案优化设计。初步工艺方案中加工步骤繁琐并需要两层牺牲层,制作难度大,难以保证较高的成品率。考虑实际加工条件的优化设计,采用聚酰亚胺作为牺牲层,使得牺牲层减少到一层。利用PECVD工艺沉积SixNy和溅射Au工艺得到了悬臂梁结构,简化了工艺流程,可提高工艺成品率。
柏鹭高杨郑英彬贾小慧王强
关键词：悬臂梁开关X波段
用于X波段移相器的RF MEMS开关设计被引量：6
2010年
针对某片上集成开关线式MEMS移相器设计了一款串联接触式悬臂梁开关。该移相器要求结构紧凑,工作频段为X波段,工作电压低于27V。利用Ansoft HFSS软件仿真分析了开关关键结构参数对电磁性能的影响,包括传输线断开间距d,接触金属与传输线之间的垂直间距h,接触金属的宽度B,总结了各参数对开关电磁性能的影响趋势,确定了本设计中各结构参数的最优取值;利用MEMS CAD软件CoventorWare对初始设计的开关进行机电耦合仿真,确定了开关的详细结构参数。仿真结果表明,设计的串联接触式悬臂梁开关驱动电压约为18V;中心频率为10GHz时,开关闭合态回波损耗为0.02dB,隔离度为36dB,导通态下,插入损耗为0.028dB。
柏鹭高杨贾小慧王强
关键词：悬臂梁X波段移相器开关
DRIE工艺误差对MEMS梳齿谐振器频率的影响被引量：3
2010年
针对深反应离子刻蚀(DRIE)工艺加工高深宽比梳齿电容存在侧壁倾斜角的情况,分析了该倾斜角对梳齿谐振器频率的影响。为了使设计的梳齿谐振器频率符合应用要求,推导出了梳齿谐振器在正负侧壁倾斜角θ下的谐振频率计算公式。利用ANSYS Workbench11.0平台,分别对侧壁倾斜角为0°,0.2°,0.35°和0.5°的情形进行了有限元建模与模态仿真。仿真结果表明:随着正倾斜角的增大,谐振频率减小;负倾斜角增大时,谐振频率增大,且一阶模态振形的平稳程度越差。比较数值仿真结果与考虑了正负倾斜角误差的梳齿谐振器谐振频率计算公式计算结果对比,吻合较好。
王强高杨贾小慧柏鹭
关键词：深反应离子刻蚀高深宽比倾斜角谐振频率
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0