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李鑫

作品数：126 被引量：91H指数：6
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划北京市自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 91篇专利
  • 18篇期刊文章
  • 10篇学位论文
  • 5篇会议论文
  • 2篇科技成果

领域

  • 17篇自动化与计算...
  • 13篇电子电信
  • 9篇文化科学
  • 8篇电气工程
  • 5篇理学
  • 3篇经济管理
  • 3篇机械工程
  • 3篇环境科学与工...
  • 2篇化学工程
  • 2篇航空宇航科学...
  • 2篇核科学技术
  • 1篇天文地球
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇医药卫生
  • 1篇农业科学

主题

  • 28篇电机
  • 12篇平面电机
  • 11篇音圈电机
  • 11篇工件台
  • 10篇传感
  • 9篇直线电机
  • 9篇晶圆
  • 8篇电池
  • 8篇叠层
  • 8篇定位装置
  • 8篇太阳能电池
  • 8篇六自由度
  • 8篇光刻
  • 8篇光刻机
  • 8篇感器
  • 7篇前馈
  • 7篇激光
  • 6篇深度处理
  • 6篇无接触
  • 6篇无接触式

机构

  • 126篇清华大学
  • 2篇北京工业大学
  • 2篇北京理工大学
  • 2篇北京华卓精科...
  • 1篇北京联合大学
  • 1篇电子科技大学
  • 1篇中国矿业大学
  • 1篇沈阳大学
  • 1篇乐山师范学院
  • 1篇北京动力机械...

作者

  • 126篇李鑫
  • 78篇朱煜
  • 64篇张鸣
  • 62篇杨开明
  • 40篇成荣
  • 33篇胡金春
  • 33篇尹文生
  • 33篇穆海华
  • 29篇徐登峰
  • 25篇余东东
  • 18篇汪劲松
  • 18篇王磊杰
  • 17篇崔乐卿
  • 10篇刘涛
  • 10篇林红
  • 10篇鲁森
  • 9篇李建保
  • 8篇叶伟楠
  • 7篇胡洪营
  • 6篇宋玉晶

传媒

  • 5篇中国电机工程...
  • 2篇电工技术学报
  • 1篇电机与控制学...
  • 1篇机械工程学报
  • 1篇压力容器
  • 1篇清华大学学报...
  • 1篇环境科学
  • 1篇机械强度
  • 1篇科学学与科学...
  • 1篇机械设计与制...
  • 1篇系统仿真学报
  • 1篇计算机工程与...
  • 1篇航空发动机
  • 1篇2008年中...

年份

  • 4篇2024
  • 6篇2023
  • 7篇2022
  • 12篇2021
  • 11篇2020
  • 8篇2019
  • 7篇2018
  • 4篇2017
  • 2篇2016
  • 4篇2015
  • 12篇2014
  • 4篇2013
  • 21篇2012
  • 6篇2011
  • 3篇2010
  • 5篇2009
  • 6篇2008
  • 1篇2007
  • 1篇2005
  • 1篇2003
共 126 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种相机和激光雷达时间同步方法、装置及存储介质
本发明公开了一种相机和激光雷达时间同步方法、装置及存储介质，该方法包括：获取相机在第一时刻的图像以及激光雷达在第二时刻的点云；基于第一时刻和第二时刻的时间差内的位姿坐标变化构建位姿解算模型；根据位姿解算模型将相机和激光雷...
张新钰汪寿安李骏李鑫郭世纯熊一瑾吴新刚
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干扰磁场下电机正弦误差的出力补偿方法及装置
本发明提供一种干扰磁场下电机正弦误差的出力补偿方法及装置，其中的方法包括：采集电机在匀速阶段的控制信号以及位移信号；基于控制信号和位移信号创建空间域正余弦信号，并将正余弦信号转换为对应的时域信号；根据时域信号创建补偿矩阵...
朱煜杨开明刘涛成荣李鑫鲁森雷声
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一种纳米晶薄膜及其低温制备方法
本发明涉及一种纳米晶薄膜及其低温制备方法。该薄膜具有级配结构，以不同尺寸的纳米晶氧化钛颗粒为原料，通过表面改性的方法，为纳米晶颗粒表面添加特定的化学键或者功能团，将这些原料在无机/有机溶剂中混合配制成级配前驱体浆料，然后...
林红李鑫李建保汪文立庄东填
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一种双台交换激光尺测量信号切换装置及方法
一种双台交换激光尺测量信号切换装置及方法，该双台包括一个基座及安装在基座上的两个工件台，每个工件台对应一个激光尺测量信号切换装置；每个切换装置包括两个激光尺，两个差分变单端模块，一个信号处理单元，一个切换模块，一个单端变...
朱煜张鸣杨开明成荣李鑫胡金春穆海华余东东尹文生蒋毅
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基于光刻机的传感器标定方法及系统
本发明提供一种基于光刻机的传感器标定方法及系统，包括：安装传感器于光刻机的工件台测量工件台的位移，将位移转换为电压，通过模/数转换器转换成数字信号；在传感器测量工件台的位移之前，向模/数转换器输入设定范围的电压，获得多个...
朱煜杨开明雷声成荣鲁森李鑫刘涛
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直线运动系统前馈控制器的参数整定方法
本发明公开了一种直线运动系统前馈控制器的参数整定方法，包括：利用迭代学习得到前馈控制信号；给定一个结构确定的基于模型的前馈控制器，利用最小二乘法，通过拟合所述前馈控制信号来整定所述前馈控制器的参数；获取每个前馈控制器参数...
朱煜李鑫戴渌爻张鸣成荣杨开明
文献传递
一种串联驱动的平面电机结构及其推力解算方法
一种串联驱动的平面电机结构及其推力解算方法,涉及磁悬浮平面电机的结构设计。该平面电机包含线圈阵列和磁钢阵列,线圈阵列由若干个完全相同的线圈阵列单元组成，磁钢阵列由若干个完全相同的磁钢阵列单元组成；线圈阵列单元与磁钢阵列单...
张鸣朱煜袁丁杨开明成荣李鑫刘峰胡金春
文献传递
加速纺机产品结构优化升级的信息集成与虚拟产品开发技术
肖田元张庆喜郭沁汾韩向利李鑫孟明辰库冠群段广洪戚建萍张燕云
（项目所属科学技术领域、主要内容、特点及应用推广情况）项目主要内容： 信息集成与虚拟产品开发是经纬CIMS工程第一、二期项目的核心与关键技术，均在863/CIMS 主题下立项。 经纬CIMS第一期（95－96）以信息集成...
关键词：
关键词：剑杆织机信息集成虚拟产品开发
纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用
朱煜张鸣杨开明胡金春成荣李鑫胡楚雄尹文生徐登峰穆海华王磊杰张利胡海张永刚李晓通
集成电路产业是信息技术产业的核心，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。中国集成电路产业发展严重受制于集成电路制造装备，尤其是技术难度最高、最核心的装备-光刻机。工件台作为光刻机最核心的子系统，为...
关键词：
关键词：光刻机集成电路
一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置
一种利用弹簧夹子的晶圆夹持装置，该装置包括薄片V型托盘、晶圆夹子和凸起支撑。晶圆夹子包括支架、连杆、弹簧及滑块。当抓取晶圆时，晶圆边缘与滑块的斜面部分接触，其重力分力使滑块沿连杆向支架方向移动，并使弹簧压缩，晶圆夹在晶圆...
杨开明朱煜李鑫汪劲松尹文生胡金春张鸣徐登峰穆海华崔乐卿余东东
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