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曹航

作品数:3 被引量:9H指数:1
供职机构:北京长城计量测试技术研究所更多>>
相关领域:机械工程更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇机械工程

主题

  • 3篇纳米
  • 3篇纳米级
  • 2篇外差
  • 2篇外差干涉
  • 2篇外差干涉仪
  • 2篇激光
  • 2篇激光外差
  • 2篇激光外差干涉
  • 2篇激光外差干涉...
  • 2篇光外差
  • 2篇干涉仪
  • 1篇直线度
  • 1篇扫描隧道显微...
  • 1篇微动工作台
  • 1篇微位移
  • 1篇微位移工作台
  • 1篇激光干涉
  • 1篇激光干涉仪
  • 1篇光干涉仪
  • 1篇光学

机构

  • 3篇北京长城计量...

作者

  • 3篇周自力
  • 3篇曹航
  • 2篇陈晓梅
  • 1篇崔岩梅

传媒

  • 1篇光学技术
  • 1篇大连理工大学...
  • 1篇光电工程

年份

  • 1篇2002
  • 1篇1998
  • 1篇1997
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
纳米级两维微位移工作台的参数测试被引量:1
2002年
为了分析纳米级两维微位移工作台引入的测量误差 ,介绍了其机械结构及工作原理 ,进行了定位准确度实验和运动方向的直线度 (偏摆 )实验 ,实验结果表明 ,工作台的定位准确度较高 ,运动方向的直线度在工作台工作范围内无需修正 。
崔岩梅周自力曹航
关键词:直线度
纳米级二维激光外差干涉仪的设计被引量:8
1998年
提出了一种50μm测量范围内,2nm不确定度、0.5nm分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声光调制器和稳频He-Ne激光器获取频差小于200kHz的正交偏振双频激光束,X和Y二臂偏振干涉仪将采用差分干涉仪,采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。
陈晓梅曹航周自力亓爱会
关键词:激光干涉仪光学设计
纳米级二维激光外差干涉仪的设计
1997年
纳米级二维激光外差干涉仪的设计陈晓梅曹航周自力亓爱会(长城计量测试技术研究所北京100095)本文提出的一种50μm测量范围内,2nm不确定度、0.5nm分辨率的二维激光外差干涉仪的设计是为建立国防项目,而预先研究的关键技术之一,即激光外差干涉测量仪...
陈晓梅曹航周自力亓爱会
关键词:激光外差干涉仪纳米级微动工作台扫描隧道显微镜激光外差干涉
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