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曹航
作品数:
3
被引量:9
H指数:1
供职机构:
北京长城计量测试技术研究所
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相关领域:
机械工程
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合作作者
周自力
北京长城计量测试技术研究所
陈晓梅
北京长城计量测试技术研究所
崔岩梅
北京长城计量测试技术研究所
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北京长城计量...
作者
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周自力
3篇
曹航
2篇
陈晓梅
1篇
崔岩梅
传媒
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光学技术
1篇
大连理工大学...
1篇
光电工程
年份
1篇
2002
1篇
1998
1篇
1997
共
3
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纳米级两维微位移工作台的参数测试
被引量:1
2002年
为了分析纳米级两维微位移工作台引入的测量误差 ,介绍了其机械结构及工作原理 ,进行了定位准确度实验和运动方向的直线度 (偏摆 )实验 ,实验结果表明 ,工作台的定位准确度较高 ,运动方向的直线度在工作台工作范围内无需修正 。
崔岩梅
周自力
曹航
关键词:
直线度
纳米级二维激光外差干涉仪的设计
被引量:8
1998年
提出了一种50μm测量范围内,2nm不确定度、0.5nm分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声光调制器和稳频He-Ne激光器获取频差小于200kHz的正交偏振双频激光束,X和Y二臂偏振干涉仪将采用差分干涉仪,采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。
陈晓梅
曹航
周自力
亓爱会
关键词:
激光干涉仪
光学设计
纳米级二维激光外差干涉仪的设计
1997年
纳米级二维激光外差干涉仪的设计陈晓梅曹航周自力亓爱会(长城计量测试技术研究所北京100095)本文提出的一种50μm测量范围内,2nm不确定度、0.5nm分辨率的二维激光外差干涉仪的设计是为建立国防项目,而预先研究的关键技术之一,即激光外差干涉测量仪...
陈晓梅
曹航
周自力
亓爱会
关键词:
激光外差
干涉仪
纳米级
微动工作台
扫描隧道显微镜
激光外差干涉
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