徐文祥
- 作品数：27 被引量：18H指数：3
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程金属学及工艺更多>>
- 一种投影光刻机的硅片台对准机构
- 本发明是一种投影光刻机的硅片台对准机构，它包括拉簧、硅片台、止推轴承、基座、调节螺栓、螺纹副、光孔、传动杆、楔块、导轨副、导轨；调节螺栓被固定在位于基座的螺纹副上，调节螺栓的前端为球型，楔块位于导轨上并与调节螺栓前端接触...
- 胡淘胡松邢薇徐文祥
- 文献传递
- 步进投影数字光刻技术研究被引量：3
- 2008年
- 随着微纳加工技术的不断发展,其对光刻技术提出了新的要求,步进投影数字光刻技术作为光刻技术的重要分支,在光刻发展的过程中,扮演着不可替代的角色。主要介绍步进投影数字光刻技术的原理及组成,详细阐述关键技术单元,如数字掩模投影成像技术、照明均匀化处理技术、CCD同轴调焦及对准技术等,并利用该技术进行了分辨率测试和灰度图形曝光实验。实验结果表明该技术在微细加工领域达到国内先进水平。
- 徐文祥王建赵立新严伟
- 关键词：数字掩模数字光刻DMD
- 一种投影光刻机的硅片台微旋转机构
- 本发明是一种投影光刻机中的硅片台微旋转机构，它包括拉簧、硅片台、止推轴承、基座、调节螺栓、螺纹副；调节螺栓被固定在位于基座的螺纹副上，调节螺栓的前端为球型，拉簧的左端套在硅片台上，拉簧的右端挂在基座上，硅片台始终与调节螺...
- 胡淘胡松邢薇徐文祥
- 文献传递
- 一种投影光刻机中的光束稳定装置
- 一种投影光刻机中的光束稳定装置，它可以对投影光刻机中的激光光源因地基振动、传输路径中气体抖动、环境温度、湿度、气压等变化引起的光束在方向与位置上的漂移进行校正，保证了光刻系统的成像及光刻质量。
- 徐文祥邢薇罗正全马平王建
- 莫尔条纹分析及其在光刻对准中的应用被引量：3
- 2010年
- 从莫尔条纹用于光刻对准的实际应用出发,从傅里叶光学的角度重点讨论了一般光栅及线光栅对莫尔条纹的调制规律,并对广泛应用的低频(1,-1)级莫尔条纹进行了仿真分析。最后通过仿真分析说明,在光刻对准中,对栅线重复频率相差很小的两光栅对准标记,将产生对位移具有高灵敏度特性的放大莫尔条纹,从而实现高精度光刻对准,并对采用该对准方法的光刻对准精度进行了简要分析。
- 马平周绍林胡松徐文祥
- 关键词：莫尔条纹光栅
- 干涉空间相位光刻对准方法研究
- 2010年
- 介绍了一种适合高分辨力接近/接触式光刻的新型纳米级光刻对准方法。简要阐述了该对准方法的基本原理,探讨了应用该对准方法的光学结构设计,提出了照明光路与干涉条纹捕获光路的垂直设计,采用单色非曝光光源远心照明方式并外加补偿光路的结构设计。在软件处理方面,提出采用九点四线曲面拟合面阵CCD细分方法及最小二乘曲线拟合定位方法,实现光刻对准精度的进一步提高。该光刻对准方法能够克服现有对准技术的诸多缺陷,具有纳米级对准精度,能够满足纳米光刻的对准需求。
- 马平胡松周绍林徐文祥
- 关键词：莫尔条纹
- 用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法
- 本发明是用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法，包括：扫描台上的生物芯片在扫描区域外移动，Y向电机在Y轴向上做间歇步进，生物芯片向Y轴向步进至第1扫描行起点，Y向电机停止；X向电机带动扫描台在X轴向移动至扫描区域内，对生物芯片...
- 胡淘胡松邢薇徐文祥
- 文献传递
- 一种动镜微调整方法
- 本发明是一种动镜微调整方法，它包括三个压电陶瓷驱动点，三个电容传感器探测点，动镜的解耦算法；该方法根据压电陶瓷驱动点的位置，电容传感器探测点的位置，经过推导得出动镜的解耦算法，从而给出驱动点应该执行的位移，以达到控制动镜...
- 胡淘胡松邢薇徐文祥
- 文献传递
- 一种光刻机掩模刀口移动装置
- 一种光刻机掩模刀口移动装置，采用双层单元、两组独立组件结构，由结构相同的X向狭缝刀口移动装置和Y向狭缝刀口移动装置组成，X向狭缝刀口移动装置实现X方向左右独立平动，Y向狭缝刀口移动装置实现Y方向上下独立平动；X向狭缝刀口...
- 邢薇胡松赵立新罗正全马平徐文祥
- 文献传递
- 一种投影光刻机中的光束稳定装置
- 一种投影光刻机中的光束稳定装置，它可以对投影光刻机中的激光光源因地基振动、传输路径中气体抖动、环境温度、湿度、气压等变化引起的光束在方向与位置上的漂移进行校正，保证了光刻系统的成像及光刻质量。
- 徐文祥邢薇罗正全马平王建
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