张学敏
- 作品数：31 被引量：32H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：中国航空科学基金国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信文化科学电气工程天文地球更多>>
- 用于海洋水色扫描仪的硅光电探测器组件
- 本文采用微型滤光片与硅探测器直接耦合的方式,研制了5×4元和3×4元两种多波段硅探测器组件.组件可探测412～865nm八个波段,带宽分别为20和40nm.由于采用了短波增强,提高近红外波段响应率和响应速度,降低暗电流,...
- 江美玲丁爱娣张学敏冯晓梅马斌梁平治
- 关键词：串音
- 一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法
- 本发明公开了一种以锡为牺牲层的微机械结构器件制备方法。该方法以锡为牺牲层，采用加热基底熔化锡的方法实现牺牲层表面平坦化；采用湿法腐蚀方法腐蚀锡牺牲层，使牺牲层成形；在牺牲层表面制作各种微机械结构图形后，将基底置于干冰液体...
- 翟厚明马斌程正喜张学敏
- 热导可变的高速微测辐射热计
- 给出一种高速的测辐射热计的原型结构。该结构结合RF MEMS开关和常规非致冷微桥结构,吸收桥面同时也是RF MEMS开关的上电极,衬底上的反射镜同时也是RF MEMS开关的下电极。吸收辐射阶段,桥面由热导很小的细长桥腿支...
- 程正喜马斌张学敏翟厚明施永明
- 关键词：微测辐射热计非致冷焦平面相关双采样射频开关
- 文献传递
- 128×1线列碲镉汞长波红外焦平面硅读出电路的研制
- 了适用于128×1线列碲镉汞长波红外焦平面器件的硅读出电路。电路由CMOS移位寄存器进行选址，探测器的信号读出采用CTIA方式。采用这种读出方式，可以使探测器工作在零偏置状态，有利于降低器件的噪声。运算放大器为...
- 张学敏丁瑞军梁平治倪云芝
- 关键词：红外焦平面
- 薄膜转移工艺中快速释放牺牲层的方法
- 本发明公开了一种薄膜转移工艺中快速释放牺牲层的方法，通过划片机在微桥阵列背面划出深槽，达到快速去除牺牲层目的。本发明工艺方法大大减少牺牲层的释放时间，避免采用常规牺牲层释放过程因时间过程太长出现的问题，进一步完善薄膜转移...
- 程正喜马斌翟厚明施永明张学敏
- 文献传递
- 混成式三维神经元微探针阵列的制备
- 2013年
- 提出了一种混成式三维神经元探针阵列结构和相应的制备流程。制备流程主要包括倒焊互连工艺和多刀片切割工艺,采用倒焊工艺将厚硅片直接倒焊到读出电路上,采用多刀片切割工艺直接将硅片切割成硅针阵列。该制备流程不包含高温工艺和硅腐蚀工艺,不损伤电路,实现了硅针阵列与电路直接集成。通过集成电路可以简化接口,降低引脚数量,制备的神经元探针阵列的规模可以不受引线口数量限制,可以覆盖一个完整的脑功能区。制作了规模为10×10的神经元探针阵列,探针的中心距为400μm。探针的底座高度为30μm,底座宽度为360μm,底座之间的空隙为40μm。探针宽度为100μm,高度为1 470μm。针尖的角度为25°。初步测试结果表明探针阵列是满足神经元信号探测。
- 程正喜庄佚溦张学敏袁红辉
- 关键词：微机械加工
- 一种疏松化聚酰亚胺红外吸收薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种疏松化聚酰亚胺红外吸收薄膜的制备方法。聚酰亚胺薄膜由光敏型聚酰亚胺树脂旋涂在基底表面，经亚胺化后获得；亚胺化使聚酰亚胺薄膜与基底形成良好粘附；采用光刻、显影工艺使聚酰亚胺在像元表面成型；疏松化通过腐蚀并去...
- 翟厚明马斌程正喜张学敏
- 文献传递
- 128×1线列碲镉汞长波红外焦平面硅读出电路的研制
- 研制了适用于128×1线列碲镉汞长波红外焦平面器件的硅读出电路。电路由CMOS移位寄存器进行选址，探测器的信号读出采用CTIA方式。采用这种读出方式，可以使探测器工作在零偏置状态，有利于降低器件的噪声。运算放大器为CMO...
- 倪云芝梁平治丁瑞军张学敏
- 关键词：红外焦平面
- 国产电阻阵列的发展:历史、现状和未来技术探讨
- 本文回顾和总结了国产电阻阵列三个发展阶段的主要技术方案、优缺点和最终结果。第一代64×64电阻阵列采用了体材料微机械加工的单晶硅薄膜微型电阻，电阻成品率较高但与CMOS工艺不兼容、均匀性差、功耗大、占空比极低、规模小;第...
- 马斌程正喜翟厚明郭中原刘强张学敏丁毅陈瑶
- 关键词：红外器件电阻阵列CMOS工艺
- 快速释放边长毫米级的大面积薄膜的工艺方法
- 本发明公开了一种快速释放边长毫米级的大面积薄膜的工艺方法，本发明通过先腐蚀牺牲层来增大衬底和腐蚀剂的接触面积，提高衬底的腐蚀速率，来快速架空所需的薄膜，特别是面积较大的薄膜，例如边长为毫米级的薄膜。该方法可用于快速释放红...
- 程正喜马斌翟厚明施永明张学敏
- 文献传递
