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如菲
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1
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供职机构:
山东大学物理学院物理系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
李仪
中国科学院长春物理所
宋航
中国科学院长春物理所
曹望和
中国科学院长春物理所
孟鸣岐
山东大学物理学院物理系
刘向东
山东大学物理学院物理系
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作者
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金亿鑫
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刘向东
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如菲
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孟鸣岐
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曹望和
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宋航
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李仪
传媒
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发光学报
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1篇
1996
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氧和铒共注入硅的卢瑟福背散射和发光研究
1996年
将铒和氧共注人硅中,卢瑟福背散射分析表明,退火后铒的分布剖面因共注入氧的剂量而异。在高氧剂量下,退火后铒保持退火前的剖面不变,样品再结晶良好。在中等氧剂量下,退火后铒的分布剖面出现双峰。认为退火过程中形成了铒—氧复合物。复合物的形成减缓了铒的偏析和扩散,影响了铒的削面再分布。铒和氧离子注入剂量的系列实验证实了氧在Er^(3+)发光中有重要作用。
李仪
宋航
曹望和
李菊生
金亿鑫
如菲
孟鸣岐
刘向东
关键词:
铒
硅
发光
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