龚超
- 作品数：21 被引量：45H指数：3
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 电子束偏转式电场传感器
- 一种电子束偏转式电场传感器，包括阴极(1)、阳极部分和相应电路部分，其特征在于在所述的阳极部分形成绝缘基底(5)，在绝缘基底(5)表面制备电阻膜(4)并在正方形电阻膜两边蒸上长方形带状金属膜电极(3)，所述阴极和阳极封装...
- 夏善红龚超
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- 振动式微型电场传感器
- 一种振动式微型电场传感器，包括振动部分和感应部分，在振动部分形成振动膜(1)，在振动膜(1)上制备第一激振电极(2)和屏蔽电极(3)，在感应部分制备第二激振电极(5)和感应电极(6)。本发明的微型电场传感器基于微加工技术...
- 夏善红裴强白强龚超
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- 基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真被引量：10
- 2003年
- 报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案 。
- 裴强夏善红龚超白强陈绍凤
- 关键词：MEMS技术微型电场传感器仿真
- 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器
- 本文研制了一种基于静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器.利用相关检测原理对该传感器进行了测试,测试结果表明,在外电场强度为0.5×105～25×105V/m范围内,传感器的输出特性基本满足线性关系,灵敏度可达到0.53...
- 彭春荣龚超陈贤祥陶虎白强罗蕾夏善红
- 关键词：微型电场传感器差分检测
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- 一种热驱动微型电场传感器设计与仿真
- 设计了一种新型的热驱动微型电场传感器,该传感器具有驱动电压低、工作频带宽、工艺步骤简单等优点;阐述了该电场传感嚣的工作原理,描述了设计方案,并给出了驱动部分的仿真结果,计算了感应电流的大小;讨论了所涉及的工艺过程。
- 叶超龚超陈贤祥彭春荣陈绍凤夏善红
- 关键词：热驱动电场传感器仿真
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- 交错振动式微型电场传感器
- 介绍一种由基底、感应电极、屏蔽电极和驱动结构组成的新型微型电场传感嚣。与其他微型传感器相比,该传感器采用独特的交错振动的工作方式,显著地提高了传感器感应电场的能力和稳定性。传感器采用压电陶瓷制作驱动结构,可以在较低的驱动...
- 龚超陶虎白强陈绍凤夏善红
- 关键词：电场传感器微机电系统有限元
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- 聚酰亚胺振动膜微型电场传感器被引量：2
- 2004年
- 设计并分析了一种新型的以硅为基底、聚酰亚胺为振动膜的微型电场传感器。此种传感器利用了聚酰亚胺耐热、耐腐蚀并具有良好机械性能的特点,采用MEMS技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其他器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低。本文阐述了此传感器的工作原理,并通过计算机模拟确定了增强信号的方法,同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程。
- 龚超夏善红邓凯白强陈绍凤
- 关键词：电场传感器有限元分析微机电系统
- 一种热驱动微型电场传感器设计与仿真被引量：3
- 2005年
- 设计了一种新型的热驱动微型电场传感器,该传感器具有驱动电压低、工作频带宽、工艺步骤简单等优点;阐述了该电场传感器的工作原理,描述了设计方案,并给出了驱动部分的仿真结果,计算了感应电流的大小;讨论了所涉及的工艺过程.
- 叶超龚超陈贤祥彭春荣陈绍凤夏善红
- 关键词：热驱动电场传感器仿真
- 交错振动式电场传感器
- 本发明是一种交错振动式微型电场传感器，包括基底1，感应电极2，屏蔽电极3，驱动结构4，外壳5。感应电极2和屏蔽电极3边缘有处于交错状态的梳齿。当屏蔽电极3表面凸出于感应电极2的表面时，感应电极2表面感应电荷较多；当屏蔽电...
- 夏善红龚超陶虎白强陈绍凤
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- 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器
- 研制了一种基于静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器。利用相关检测原理对谊传感器进行了测试,测试结果表明,在外电场强度为0.5×105-25×105V/m范围内,传感器的输出特性基本满足线性关系,灵敏度可达到0.53μV...
- 彭春荣龚超陈贤祥陶虎白强罗蕾夏善红
- 关键词：微型电场传感器差分检测
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