陈华
- 作品数：6 被引量：30H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
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- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术更多>>
- 光学系统波前主动补偿装置
- 本发明公开了一种光学系统波前主动补偿装置，属于光学系统的像差补偿技术领域。解决了现有技术中波前主动补偿装置结构复杂、成本昂贵的问题。本发明的光学系统波前主动补偿装置包括玻璃镜片、电控系统和多个温度调节装置，多个温度调节装...
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- 文献传递
- 高精度曲率半径测量研究被引量：13
- 2014年
- 由于影响曲率半径测量精度的因素众多,因此高精度曲率半径测量一直是光学检测中的难题之一。为了实现球面光学元件曲率半径的高精度测量,提出通过环境补偿和提高对准精度的方法来减小测量误差。首先从理论的角度分析了影响曲率半径检测精度的主要因素,并给出了在曲率半径测量过程中减小测量误差的方法以及相应的补偿方式。基于此分析,在高精度实验室中采用菲佐干涉仪结合高精度测长干涉仪的干涉测量方式,分别对典型的凸球面和凹球面光学元件进行了曲率半径检测。实验结果表明:通过环境补偿和提高对准精度的方法,曲率半径检测的复现性优于0.2μm,实际测得的相对误差分别为0.67×10^(-6)(2σ)和0.60×10^(-6)(2σ),实现了高精度曲率半径测量。
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- 关键词：曲率半径环境补偿
- 光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究被引量：5
- 2014年
- 非均匀照明导致的热像差是光刻机投影物镜工作过程中成像性能劣化的主要因素,对其补偿是必要的。针对物镜热像差的补偿问题,提出了分区式加热补偿镜的方案,利用玻璃材料折射率随温度变化的特点,采用电薄膜加热器在镜片的周围加热,从而产生可控的波前变化以补偿物镜由照明引起的热像差。建立了补偿方案的理论模型,并以一片平板透镜为对象开展了实验验证,实验结果表明,补偿前后镜片的波前由12.52nm[均方根(RMS)]变化至2.95nm(RMS),表明该补偿方案是可行、有效的。
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- 关键词：成像系统光刻机投影物镜
- 高精度面形检测中环境扰扰动因素分析
- 陈华
- 光学系统波前主动补偿装置
- 本发明公开了一种光学系统波前主动补偿装置，属于光学系统的像差补偿技术领域。解决了现有技术中波前主动补偿装置结构复杂、成本昂贵的问题。本发明的光学系统波前主动补偿装置包括玻璃镜片、电控系统和多个温度调节装置，多个温度调节装...
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- 干涉检测中环境温度引起的镜面变形分析被引量：12
- 2011年
- 在达到1nm量级的光学元件表面面形干涉检验时,被检元件由温度变化引起的面形偏差是不能忽略的。分析了干涉检验时存在的各种环境温度情况,对不同情况下被检元件内外温度分布进行了仿真,并将温度场作为静力学分析的载荷条件,进行了镜面温度变形分析。计算出了带支撑的直径为300mm凸球面透镜在不同温度分布下的镜面变形量,并通过球面拟合计算出面形的峰谷(PV)值和均方根(RMS)值,得出要保证1nm精度的面形测量就需要保证环境温度水平漂移不超过±0.1℃,镜子轴向温度差不超过±0.05℃,直径方向温度差不超过±0.1℃的结论,为高精度面形检测的实施提供了参考。
- 陈华史振广隋永新杨怀江
- 关键词：光学检测凸透镜热变形环境温度有限元法
