詹如娟
- 作品数：49 被引量：121H指数：6
- 供职机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划安徽省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信核科学技术一般工业技术更多>>
- 等离子体化学气相沉积金刚石膜过程中光发射谱和朗谬尔探针原位诊断被引量：4
- 2001年
- 报道了利用光发射谱 (OES)和朗谬尔探针对热阴极直流放电等离子体化学气相沉积金刚石薄膜的等离子体条件进行原位研究的部分结果 ,研究了几种过程参数变化中等离子体状态 ,并与金刚石膜的沉积相联系。当CH4 浓度变化时 ,CH基团的发射强度和电子密度ne 的变化表现出相似趋势 ,均出现一极大值。而在高CH4 浓度 ,C2 的发射出现。在气压变化过程中 ,CH的发射强度和ne 均随气压的升高而下降 ,C2 的发射强度变化不大。用OES和朗谬尔探针测量的电子温度Te 所显示的结果是一致的。在这些过程中 ,电子碰撞应该是CH发射的主要机制 ,C2
- 朱晓东温晓辉周海洋詹如娟
- 关键词：电子温度电子密度金刚石薄膜等离子体化学气相沉积
- 常压线状冷等离子体射流产生装置
- 本发明提出一种常压线状冷等离子体射流产生装置，包括：介质板；固定在所述介质板的一个表面上的梳状悬空电极；固定在所述介质板的另一个表面上、与所述梳状悬空电极绝缘、且与音频交流功率源的输出端相连的交流电压电极板；中间开有一条...
- 朱晓东倪添灵丁芳温晓辉周海洋詹如娟
- 文献传递
- 梳状电极结构对大气压表面放电的影响被引量：1
- 2004年
- 研究了梳状电极结构对大气压表面放电的影响 ,发现频率固定时放电电流随着外加电压的增加而增加 ,而电压固定时在某个频率范围内放电电流有最大值 ;在相同的电压和频率下较宽的电极条宽可以产生较大的放电电流 ,而电极条间距对放电电流几乎没有影响 ;用整块金属板做接地电极相比于梳状接地电极可以产生较大的放电电流 ;另外 ,较厚的高压电极可以在介质板表面产生更明亮。
- 张锐汪磊徐蕾程诚詹如娟
- 关键词：表面放电梳状电极放电电流
- 大气压辉光放电等离子体与射流等离子体的产生
- 詹如娟刘鹏温晓辉朱晓东徐蕾
- 我们研制了一套大气压辉光放电系统，成功实现了多种电极结构下多种气体的大气压辉光放电，探讨了其放电特性，并在灭菌应用中获得显著效果。在平行平板的电极结构中获得了氦气（电极间距2cm）、氩气掺杂酒精（电极间距1cm）、氮气（...
- 关键词：
- 关键词：大气压辉光放电等离子体射流
- 电子回旋共振等离子体用于聚四氟乙烯材料表面改性被引量：2
- 2002年
- 在电子回旋共振 (ECR)等离子体装置中 ,使用Ar气 ,N2 气 ,H2 气和普通空气放电 ,对聚四氟乙烯 (PTFE)材料进行表面处理以提高其表面粘结性能。详细研究了在不同的放电气压 ,微波功率 ,处理时间 ,气体种类的情况下 ,样品表面的接触角的变化。同时也讨论了样品导电性能和外观等的变化。使用红外吸收谱对样品结构处理前后的变化进行了测量 ,对等离子体处理的机理进行了初步的讨论。使用Langmuir探针测量了Ar气和N2 气等离子体中的离子密度 ,用能量分析器测量了离子的能量。发现在对样品的处理中 ,ECR等离子体的离子密度是影响表面性能的主要因素 。
- 温晓辉詹如娟
- 关键词：表面改性聚四氟乙烯离子密度离子能量工程塑料
- 大气压辉光放电研究现状及应用前景被引量：16
- 2004年
- 大气压辉光放电由于均匀性好、能量效率高并且不需要真空系统 ,正日益受到人们重视和研究 .文章综述了大气压辉光放电的研究进展 ,包括实验条件、放电特征、放电机理以及最新的诊断方法 ,还介绍它在薄膜沉积、材料表面改性。
- 张锐刘鹏詹如娟
- 关键词：大气压辉光放电均匀性低温等离子体能量效率材料表面改性
- 化学气相淀积中甲烷含量变化的等离子体参数诊断
- 1992年
- 一、引言 金刚石薄膜以其优异的特性越来越受到人们的重视。人们已用各种方法制备出金刚石薄膜、并详细研究了膜质量、膜的形貌与各种宏观参量的关系。在这里,含碳物源相对于氢气的浓度比对金刚石膜的结构和形貌的影响是相当严重的。从许多报道中可知。
- 高克林詹如娟曹金祥邹祖平项志遴
- 关键词：金刚石甲烷等离子体诊断
- 直流辉光等离子体装置及金刚石片的制备方法
- 本发明实施例公开了一种直流辉光等离子体装置，包括：电极系统、水冷真空系统和电源控制系统，所述电源控制系统包括脉冲直流电源。本发明提供的装置可以在高气压条件下采用放电的脉冲运行，有效地抑制辉光向弧放电转移，能够得到稳定的高...
- 朱晓东丁芳詹如娟倪天灵柯博
- 文献传递
- Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性研究
- 报道了所研制的的Waveguide-surfatron激发的表面波等离子体源的特性，理论计算表明，激发表面波模式为m≥模，在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出，采用Ar气放电，在气压为10-1000P...
- 詹如娟吴丛凤朱小东黄卫东温小辉武帅周海洋
- 关键词：等离子体源
- 表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析被引量：20
- 2003年
- 本文使用Raman光谱和X 射线光电子能谱 (XPS)的分析方法对表面波等离子体沉积的类金刚石(DLC)薄膜的结构进行了研究。采用 4峰的高斯解谱的方法对不同沉积时间的膜的Raman谱进行处理 ,并由此对膜中sp3键的百分含量PD 进行了定量计算 ;同时还采用 3峰的高斯解谱方法对不同沉积时间的膜的光电子能谱进行处理 ,也对膜中sp3键的百分含量进行了计算。两种方法均得到膜中sp3含量在 2 0 %～ 4 0 %之间 ,且随沉积时间的增加而增加。
- 黄卫东詹如娟
- 关键词：类金刚石膜XPS类金刚石RAMAN光谱
