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王运
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
浙江大学材料与化学工程学院
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发文基金:
国家教育部博士点基金
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
一般工业技术
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合作作者
涂江平
浙江大学材料与化学工程学院
居易
浙江大学材料与化学工程学院
何丹农
上海交通大学材料科学与工程学院
郑晓华
浙江大学材料与化学工程学院
沈霞
浙江大学材料与化学工程学院
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作者
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沈霞
2篇
郑晓华
2篇
何丹农
2篇
居易
2篇
王运
2篇
涂江平
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1篇
润滑与密封
年份
2篇
2006
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2
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MoS_x/MoS_x-Mo纳米多层膜的制备及其环境摩擦学特性
被引量:3
2006年
用直流磁控溅射在钢基体上交替溅射制备了MoSx/MoSx-Mo纳米多层膜。采用划痕仪测试薄膜与基体的结合力;采用SEM和XRD分析了纳米多层膜的形貌和显微结构;在球-盘式微摩擦试验机上测试了纳米多层膜在真空和潮湿空气中的摩擦学性能。结果表明,纳米多层膜的结合力优于纯MoS2膜。随着溅射沉积气压的升高,MoSx(002)面择优取向减弱,纳米多层膜的结合力下降。溅射气压0.24 Pa沉积的纳米多层膜在真空和潮湿空气中都呈现出最低的摩擦因数和磨损率,具有优异的环境摩擦磨损特性。
郑晓华
居易
沈霞
王运
涂江平
何丹农
关键词:
多层膜
MoSx/MoSx-Mo纳米多层膜的制备及其环境摩擦学特性
用直流磁控溅射在钢基体上交替溅射制备了MoSx/MoSx-Mo纳米多层膜。采用划痕仪测试薄膜与基体的结合力;采用SEM和XRD分析了纳米多层膜的形貌和显微结构;在球-盘式微摩擦试验机上测试了纳米多层膜在真空和潮湿空气中的...
郑晓华
居易
沈霞
王运
涂江平
何丹农
关键词:
磁控溅射
多层膜
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