王苗
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺更多>>
- 基于稳定固溶体团簇模型的无扩散阻挡层Cu-Ni-M三元薄膜
- 在超大规模集成电路的Cu/低k互连工艺中，向Cu种籽层中添加难熔金属元素及其氮化物的无扩散阻挡层结构，因其具有低电阻率、高热稳定性和制备简单等优点成为研究热点。前期研究结果显示，Cu-Ni-M稳定固溶体团簇模型在改善Cu...
- 王苗
- 关键词：电阻率
- 文献传递
- 基于团簇模型设计的Cu-Cu_(12)-[M_(x/(12+x))Ni_(12/(12+x))]_5(M=Si,Cr,Cr+Fe)合金抗高温氧化研究被引量：1
- 2014年
- 文章在稳定固溶体团簇模型的指导下,对白铜合金进行微合金化,将Cu元素在合金中的含量固定为72.22 at.%,改变Ni与M(M为Si,Cr,Cr+Fe)的比例,设计了系列合金成分,并对其抗高温氧化性能及其机制进行了研究.同时加入基体中的Ni-Si元素可以从两方面提高合金的抗氧化性能:以团簇形式加入,形成稳定固溶体结构,可以降低Cu-Ni-Si合金的化学反应活性;Si/Ni比增大后,合金在少量固溶的基础上能析出抗氧化性能优于基体的析出相,且析出越多,抗高温氧化性能越好.所以其抗氧化能力的来源并不是形成致密Si氧化物薄膜.Ni-Cr的同时加入可以明显抑制Cu合金在800?C以下的中温氧化,但其抗高温氧化能力主要与外氧化层中是否形成连续的Cr氧化层有关,因而该系列合金的抗高温氧化能力与Cr/Ni比有密切联系,合理选择团簇内Cr/Ni比例,才能够提高Cu合金的抗高温氧化能力.第四组元Fe和第三组元Cr相比较,不能够起到优先氧化、生成保护性氧化皮的作用,所以Cr,Fe同时添加只能抑制Cu在800?C以下的中温氧化,却不能够提高Cu合金的抗高温氧化能力.
- 李晓娜郑月红李震王苗张坤董闯
