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王湘

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇国内会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇低剂量
  • 1篇圆片
  • 1篇注入机
  • 1篇离子注入
  • 1篇离子注入机
  • 1篇SIMOX圆...
  • 1篇SOI材料
  • 1篇SOI结构

机构

  • 2篇中国科学院上...

作者

  • 2篇李炜
  • 2篇王湘
  • 2篇王曦
  • 2篇陈猛
  • 2篇陈静
  • 2篇张峰
  • 1篇郑志宏
  • 1篇徐彦芬
  • 1篇董业民
  • 1篇陈可炜

传媒

  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇第十一届全国...

年份

  • 2篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
低剂量SIMOX圆片研究
用剖面透射电镜、高分辨电镜以及化学增强腐蚀法和Cu-plating表征了低剂量SIMOX圆片的结构特征.结果显示,选择恰当的剂量能量窗口,低剂量SIMOX圆片表层Si单晶质量好、线缺陷密度低、埋层厚度均匀、埋层硅岛密度低...
陈猛陈静张峰李炜徐彦芬陈可炜王湘刘相华王曦
关键词：SOI材料SIMOX圆片
文献传递
低剂量注水形成SOI结构与注入能量的关系研究
采用无质量分析器的离子注入机以低能量低剂量注水的方式代替常规的SIMOX注氧制备SOI材料.这种新技术具有注入时间短和降低成本的优点,是未来低价商用SOI材料制备可选方法之一.在剂量一定的条件下,研究不同注入能量对SOI...
陈静陈猛王湘董业民郑志宏张峰李炜王曦
关键词：SOI结构离子注入机
文献传递
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共1页<1>
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