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王彤
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
沈阳仪表科学研究院有限公司
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合作作者
常伟
沈阳仪表科学研究院有限公司
徐淑霞
沈阳仪表科学研究院有限公司
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沈阳仪表科学研究院有限公司
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硅压阻式压力传感器失效分析
本文根据硅压阻式压力传感器生产过程和出厂检验中的不合格现象,应用微电子学理论和电子元器件可靠性工程理论进行了原因分析,并从生产工艺角度提出了有效控制成品率提高可靠性的方法.
徐淑霞
常胜利
常伟
刘柏汇
朱娜
王彤
李漫漫
关键词:
压力传感器
微电子学
文献传递
OEM压力传感器零点输出失效原因分析
OEM硅压阻压力传感器是采用半导体平面工艺和微机械加工工艺及传感器专用封装工艺制造的,因此不合格传感器的失效原因是很复杂的。在长期从事传感器质量检验过程中,归纳出不合格的主要原因是零点输出发生变化。文中尝试从半导体工艺原...
徐淑霞
王彤
胡竞
马文龙
常伟
关键词:
压力传感器
文献传递
OEM压力传感器零点输出失效原因分析
被引量:2
2009年
OEM硅压阻压力传感器是采用半导体平面工艺和微机械加工工艺及传感器专用封装工艺制造的。因此不合格传感器的失效原因是很复杂的。在长期从事传感器质量检验过程中,归纳出不合格的主要原因是零点输出发生变化。文中尝试从半导体工艺原理和制造工艺方面对不合格品的失效原因进行分析,并提出相应的改进方法。
徐淑霞
王彤
胡竞
马文龙
常伟
关键词:
压力传感器
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