熊瑛
- 作品数:23 被引量:38H指数:4
- 供职机构:天津理工大学电子信息工程学院更多>>
- 发文基金:天津市自然科学基金国家自然科学基金天津市高等学校科技发展基金计划项目更多>>
- 相关领域:电子电信自动化与计算机技术一般工业技术理学更多>>
- LiNbO<Sub>3</Sub>/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件及其制备方法
- 本发明公开了一种LiNbO<Sub>3</Sub>/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件及制备方法。所说的多层膜结构声表面波器件是在CVD金刚石膜和LiNbO<Sub>3</Sub>薄膜之间有高C-轴择优取向的纳米ZnO...
- 杨保和陈希明熊瑛徐晟孙大智李明
- 文献传递
- 金刚石多层膜结构声表面波器件及其制备方法
- 本发明公开了一种IDT/h-BN/c-BN/金刚石多层膜结构声表面波器件及制备方法,所说的多层膜结构声表面波器件:在镜面硅上制备的纳米金刚石膜底层,在纳米金刚石膜底层上制备的纳米c-BN膜中间层,纳米c-BN膜中间层上制...
- 杨保和熊瑛薛玉明陈希明吴晓国
- 文献传递
- 晶体管工作状态对SiGe带通滤波器的影响研究
- 2010年
- 采用SiGe异质结双极晶体管,设计了一种具有回转结构的带通跨导-电容滤波器。使用ADS软件进行电路图的仿真分析。研究镜像电流源的集电极电阻R对该滤波器中心频率、输出增益及功耗的影响。分析结果表明,镜像电流源集电极电阻R的调节可以控制镜像电流源的晶体管工作状态和回转电路的偏置电流。因此,要获得更高的中心频率,镜像电流源中直接给跨导单元提供电流的晶体管不用按常规工作在放大区而可以工作在饱和区。对滤波器输出增益和功耗的进一步分析结果表明,以上晶体管工作在饱和区不仅可以提高滤波器的工作频率,还可以提高滤波器的输出增益,但是也会同时增加滤波器的功耗。
- 李晶晶熊瑛杨保和张维佳申研
- 关键词:锗硅异质结双极晶体管滤波器高频回转器
- 适用SAW器件的纳米金刚石膜及制备方法与用途
- 本发明公开了一种适用SAW器件的纳米金刚石薄膜及制备方法与用途,这种利用微波等离子化学气相沉积法制备的C-轴取向的金刚石纳米膜,膜厚6μm,晶粒度为:200-250nm,sp<Sup>3</Sup>成分≥90%,满足波长...
- 杨保和熊瑛陈希明吴晓国孙大智
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- 射频磁控溅射法LiNbO_3薄膜的制备及其影响因素研究被引量:2
- 2008年
- 采用射频磁控溅射法在Si(111)和Si(100)上制备LiNbO3薄膜.通过XRD技术探讨了硅基片取向和所制备的薄膜的取向之间的联系,研究了不同靶材对薄膜的影响,讨论了热处理温度、工艺和所制备的薄膜取向的关系.报道了在Si(111)基片上制备高c轴取向的LiNbO压电薄膜的制备方法.
- 孙大智熊瑛杨晓萍
- 关键词:射频磁控溅射
- 2.5GHzSiO<,2>/ZnO/IDT/金刚石膜SAW滤波器的研究
- 杨保和陈希明吴小国熊瑛常明孙杰
- 主要内容:利用微波等离子法在硅基片的上预制CVD定向的多晶金刚石薄膜;用计算机模拟及实验相结合的方法,研究ZnO厚度以及金刚石膜厚与相速度的关系曲线;在金刚石膜上研究制备C-轴取向的ZnO薄膜;制作IDT/ZnO/dia...
- 关键词:
- 适用于金刚石热沉膜片的薄膜沉积系统装置
- 本发明是一种适用于金刚石热沉膜片的薄膜沉积系统装置。本发明主要由真空室、真空泵抽与测量系统、水冷系统、气路系统和电控系统等组成。其特征是在真空室圆形电极的下方设置一个样品转台,二者组成电容式射频电极。在电容式电极间平行加...
- 杨保和李晓伟熊瑛吴晓国曲长庆
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- CVD金刚石膜的光学特性研究及其应用
- 本文利用热丝化学气相沉积法在硅衬底上生长金刚石薄膜,在生长过程中对其工艺条件进行了很好的控制。利用拉曼光谱、扫描电镜、傅立叶变换红外分光光度计对薄膜进行了测试,经研究发现,在所选定的条件下,生长的金刚石膜透射率较高。
- 梁继然常明熊瑛潘鹏
- 关键词:金刚石膜透射率化学气相沉积光学特性薄膜生长
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- 超宽带光纤通信系统中关键元器件-2.5GHz高频宽带SiO2/ZnO/IDT/金刚石膜声表面波滤波器的研究
- 杨保和薛玉明王晓姹熊瑛刘以倩苏林李明李翠平
- 由于声表面波(SAW)器件具有小型化、高可靠、多功能、一致性好等特点,在雷达、电子战、声纳、无线通信、光纤通信及广播电视系统中具有广泛的应用前景。声表面波(SAW)技术应用的最大市场~高频通信SAW器件正在迅速生长和发展...
- 关键词:
- 关键词:SAW金刚石膜压电薄膜
- 纳米金刚石薄膜的制备被引量:8
- 2008年
- 采用微波等离子体化学气相沉积系统,利用氢气、甲烷、氩气和氧气为前驱气体,在直径为5 cm的(111)取向镜面抛光硅衬底上沉积出高平整度纳米金刚石薄膜。利用扫描电镜、X射线衍射谱和共焦显微显微拉曼光谱我们分析了薄膜的表面形貌和结构特征。该薄膜平均粒径约为20 nm。X射线衍射谱分析表明该薄膜具有立方相对称(111)择优取向金刚石结构。在该薄膜一阶微显微拉曼光谱中,1332 cm-1附近微晶金刚石的一阶特征拉曼峰减弱消失,可明显观测到的三个拉曼散射峰分别位于1147 cm-1、1364 cm-1和1538 cm-1,与己报导的纳米金刚石拉曼光谱类似。该方法可制备出粒径约为20 nm粒度分布均匀致密具有较高含量的sp3键的纳米金刚石薄膜。
- 杨保和崔建熊瑛陈希明孙大智李翠平
- 关键词:纳米金刚石薄膜微波等离子体化学气相沉积