李艳茹
- 作品数：11 被引量：54H指数：5
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新工程资助项目中国科学院知识创新工程领域前沿项目中国科学院'优秀博士学位论文、院长奖获得者科研启动专项资金'更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 小型光电编码器自动检测系统被引量：23
- 2013年
- 设计了小型光电编码器自动检测系统,用于准确快速地检测小型光电轴角编码器的误差。采用21位高精度光电编码器作为角度基准来检测低精度的小型光电编码器。用控制系统转动编码器,此时高精度编码器与被检编码器之差即为小型编码器在该位置的误差。检测完毕,根据需要将编码器的误差通过USB接口传输给上位机保存并进行深度分析。采用该系统检测某型号的15位编码器,得到的均方差为29.1″,而传统方法检测的误差均方差为28.5″,表明设计的检测系统满足检测精度要求。
- 孙树红赵长海万秋华李艳茹
- 关键词：光电编码器USB接口
- 计量圆光栅的制作工艺及质量参数研究被引量：8
- 2012年
- 计量圆光栅是光电编码器中的核心元件,它的精度直接影响光电编码器的精度,因此,制作出高精度的计量圆光栅是研制高精度光电编码器的前提。详细介绍了计量圆光栅的制作工艺和衡量计量圆光栅质量的参数,并通过实验对计量圆光栅的制作工艺和质量参数进行了对比,为设计高精度角度传感器提供了一定的理论参考。
- 陈赟李艳茹张红胜
- 关键词：刻划精度均匀性
- 大功耗航天器件散热处理方法的工艺研究被引量：2
- 2016年
- 在真空环境中,印制板上大功耗器件的散热方法主要采用传导散热,因此增加大功耗器件与印制板接触面积是降低芯片热量的最好办法。如何对大功耗芯片与印制板之间缝隙灌注材料和灌注工艺选择,是解决大功耗器件散热效果直接体现。选用稀释后的DBSF-6101三防保护剂对航天产品印制板上大功耗器件进行温度散热灌注处理的工艺方法,该工艺方法可以解决印制板上大功耗器件在真空环境中散热由辐射散热转变为传导散热,大大降低印制板上大功耗器件表面温度。
- 文大化李艳茹
- 关键词：灌注工艺
- 计量光栅盘真空镀铬机理与工艺研究被引量：2
- 2011年
- 在计量光栅盘的制作过程中,真空镀铬是影响计量光栅盘精度和成品率的主要工序之一。为了提高计量光栅盘的精度及成品率,对计量光栅盘真空镀铬原理及膜层形成机理进行了分析,给出了影响铬层致密性及牢固度的主要因素与铬层均匀性和蒸发距离之间的关系式,并针对其原因对相关工艺进行了改进,实验证明改进后的工艺对改善铬膜的致密性和牢固度及均匀性起到了一定的作用,使计量光栅盘的成品率提高了10%,同时也为进一步改善后续工艺提供了理论依据。
- 陈赟王晓峰李艳茹
- 关键词：致密性均匀性
- 单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法
- 本发明提供一种单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法，属于基于干涉条纹的光学计量领域，解决了现有技术中反射式金属光栅信号对比度低、线条牢固度差、无法工程化，且制作工艺复杂、成本高的技术问题。本发明的单层膜反射式平面金属光栅...
- 陈赟王显军李艳茹张胜红陈宝刚
- 文献传递
- 单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法
- 本发明提供一种单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法，属于基于干涉条纹的光学计量领域，解决了现有技术中反射式金属光栅信号对比度低、线条牢固度差、无法工程化，且制作工艺复杂、成本高的技术问题。本发明的单层膜反射式平面金属光栅...
- 陈赟王显军李艳茹张胜红陈宝刚
- 文献传递
- 液态油墨制作计量圆光栅的研究
- 2012年
- 液态油墨又称液态感光油墨,是一种特殊的紫外油墨,通过紫外曝光后固化,和玻璃、金属、塑料薄膜等材料有较好的附着力和牢固度,广泛应用于高精密度电路板、多层板电路的内层蚀刻、各种精密金属标牌腐蚀与电镀印制工艺等行业。但它直接用于制作计量圆光栅未见报道,通过对液态油墨复制工艺的研究,及计量圆光栅制作工艺的对比,详细介绍了液态油墨制作计量圆光栅的制作工艺,试验证明液态油墨制作计量圆光栅是可行的。
- 李艳茹陈赟张红胜王晓峰
- 基于ZnS金属网栅制作工艺的改进被引量：7
- 2014年
- 为了制作基于ZnS的对雷达波高效电磁屏蔽的金属网栅,采用了一种新型的先胶后镀的光刻复制工艺。但在制作过程中,发现影响金属网栅成品率的主要因素为ZnS材料的颜色,即由于多晶ZnS的颜色和所用光刻胶的颜色相似,很难判断网栅是否显影彻底,进而影响真空镀膜过程中金属网栅膜的形成。结合金属网栅的制作工艺,通过采用镀一层过渡膜的方式,即采用镀膜、涂胶、显影、腐蚀、镀膜、去胶、腐蚀的工艺,有效地解决了ZnS颜色带来的影响。实验表明,采用该工艺一次性成功制作出线宽为8μm、周期为400μm的金属网栅。该工艺使基于ZnS金属网栅的成品率在90%以上。
- 陈赟李艳茹张红胜
- 关键词：光刻胶
- 高速高冲击性小型增量式光电编码器的研制被引量：9
- 2013年
- 光电编码器作为一种角位移测量传感器广泛应用于多个领域中,根据光栅盘的编码方式主要分为绝对式和增量式2种。绝对式光电编码器多用于角度测量,增量式光电编码器多用作速度测量,由于器件的限制,高速、高冲击是增量式光电编码器的1个瓶颈。结合材料的高低温性能和强度特性,采用CPLD硬件细分,设计了1种增量式光电编码器,该种光电编码器具有高速(转速为3 000 r/min)、高冲击性(峰值500 g)、超小型(外径为Φ27 mm,高度为15 mm)和较好的高低温(-40^+70℃)性能等优点。
- 陈赟李秀茹张红胜李艳茹
- 关键词：光电编码器绝对式增量式
- PC光学树脂计量圆光栅的制作被引量：6
- 2010年
- 为了解决目前计量圆光栅的玻璃基片无法适应振动强度大、冲击力强等恶劣环境的问题,提出了采取新型材料聚碳酸酯(PC)来替代玻璃作为计量圆光栅制作基片的方法。分析了PC光学树脂的透光特性、耐热性和耐化学性能,给出了清洗PC的具体配方;结合现有光刻复制工艺,研制出先胶后铬的新型复制工艺;最后,以PC作为计量圆光栅基片,在蒸镀真空度为1.2×10-3Pa,蒸发距离为150mm的条件下,采用蒸发源质量控制膜厚的镀铬工艺参数,制作出了PC光学树脂基片的计量圆光栅。在45×显微镜下观察光栅线条,结果显示,线条陡直,无龟裂,表明该新型工艺可行,工艺参数正确,为进一步研制以PC光学树脂计量圆光栅为核心元件的精密测角仪器等提供了试验基础。
- 陈赟王力锋李艳茹
- 关键词：聚碳酸酯基片
