李淘
- 作品数：74 被引量：89H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学一般工业技术更多>>
- 一种台面型铟镓砷探测器制备方法
- 本发明公开了一种台面型铟镓砷探测器制备方法，包括将蒸镀P-InP接触电极以及高温快速退火过程置于氮化硅钝化之前，其优点在于：避免了在高温快速退火过程中，由于材料表面污染或者残留颗粒而导致的氮化硅钝化膜损坏，提高了探测器制...
- 朱耀明李雪龚海梅唐恒敬李淘魏鹏王云姬邓洪海刘诗嘉张在实汤亦聃乔辉
- ICP刻蚀InGaAs的微观损伤机制研究被引量：3
- 2013年
- 为获得低损伤、稳定性好的感应耦合等离子体(ICP)刻蚀InGaAs探测器台面成型工艺,采用Raman光谱技术和X射线衍射(XRD)技术,初步研究了Cl2/N2气氛刻蚀InGaAs的主要损伤机制,确定以晶格缺陷损伤为主;并采用微波反射光电导衰退(μ-PCD)法对不同处理工艺下表面的缺陷损伤进行了表征和分析,结果表明刻蚀表面湿法腐蚀和硫化的方法可在一定程度上减小表面的缺陷损伤和断键,但是存在一些深层次的缺陷。
- 程吉凤朱耀明唐恒敬李雪邵秀梅李淘
- 关键词：感应耦合等离子体铟镓砷RAMAN光谱刻蚀损伤
- 一种单片集成在高折射率衬底的亚波长金属光栅偏振片
- 本发明公开了一种单片集成在高折射率衬底的亚波长金属光栅偏振片，从上至下依次是亚波长金属光栅层，低折射率介质层和高折射率衬底。所述高折射率衬底的折射率在2.9至3.6之间，低折射率介质层的折射率在1.3至2.5之间，金属光...
- 王瑞李淘邵秀梅曹高奇李雪龚海梅
- 文献传递
- 一种具有挡光环结构的冷光阑
- 本发明公开了一种具有挡光环结构的冷光阑。其特点是在冷光阑的内壁合理的增加两个挡光环，同时挡光环的表面还涂覆一层性能良好的“黑色”涂层，从而能有效的减少杂散光。该设计能很好的提高系统的信噪比，增加对比度，改善整个系统的探测...
- 张燕贺香荣王小坤曾志江李淘张文静范广宇
- 文献传递
- 台面型InGaAs探测器暗电流及低频噪声研究被引量：3
- 2010年
- 制备了一系列不同面积的台面型InGaAs红外探测器,通过周长面积比(P/A)的变化分析了器件的暗电流机制及低频噪声性能。结果表明,在现有的材料和工艺水平下,台面边缘和体内的产生复合电流都在总暗电流中占了较大部分。对测试结构器件的低频噪声测量表明,在反偏下,器件表现出明显的1/f噪声;由于边缘产生复合电流对小尺寸器件的影响大,其产生的噪声使得器件总噪声变大。这些结果表明,以后的工艺改进应注重减少边缘电流和体内产生复合电流。
- 李淘汪洋李永富唐恒敬李雪龚海梅
- 关键词：红外探测器噪声
- AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用(英文)被引量：2
- 2010年
- 为研究保护环结构对平面型正照射式InP/InGaAs探测器光敏元扩大现象的抑制作用,设计并研制了带有不同保护环-光敏元间距的InGaAs探测器.通过原子力显微镜（AFM）及扫描电容显微镜（SCM）获得了保护环与光敏元之间的实际距离.利用激光束诱导电流（LBIC）技术研究了带有保护环结构的InGaAs探测器的光响应特性.研究表明,无保护环结构的探测器的LBIC信号可以用指数衰减函数描述,而带有保护环结构的探测器的LBIC信号则遵从高斯分布.引入保护环结构后,器件光敏元的扩大量会随着保护环-光敏元间距的减小而线性减小.在器件设计中,比较合适的保护环-光敏元间距应介于7~12μm之间.
- 李永富唐恒敬朱耀明李淘殷豪李天信李雪龚海梅
- 关键词：保护环INP/INGAAS
- 一种宽谱铟镓砷焦平面的结构及其制备方法
- 本发明公开了一种宽谱铟镓砷焦平面的结构及其制备方法，宽谱铟镓砷焦平面的基底为InP，自基底起依次有InP腐蚀牺牲层，周期性薄层低维量子点层，腐蚀截止层，In<Sub>0.83</Sub>Ga<Sub>0.17</Sub>...
- 李雪刘雅歌马英杰顾溢李淘
- 一种控制铟镓砷光敏芯片平面度的平衡层结构
- 本发明公开一种控制铟镓砷光敏芯片平面度的平衡层结构，该结构是在光敏芯片基底背面集成一种投射红外波段的光学薄膜，通过控制光学薄膜生长厚度，可实现对光学薄膜内应力的调整，从而达到光敏芯片基底背面与正面的应力平衡，实现高平面度...
- 程吉凤李雪邵秀梅邓双燕万露红李淘马英杰龚海梅
- 文献传递
- 单片集成长线列金属偏振光栅的InGaAs焦平面探测器
- 本专利公开了一种单片集成长线列金属偏振光栅的InGaAs焦平面探测器，其结构自下至上依次为硅基读出电路、铟柱互连层、InGaAs光敏芯片、SiO<Sub>2</Sub>介质层以及金属偏振光栅。所述金属偏振光栅由不同偏振取...
- 孙夺杨波李淘李雪邵秀梅
- 文献传递
- 一种焦平面探测器两步倒焊工艺方法
- 本发明公开了一种焦平面探测器两步倒焊工艺方法。本方法先通过回熔焊工艺使光敏芯片和读出电路初步形成互连，再采用高平整度材料作为倒焊过渡结构，通过倒焊过渡结构与初步互连的焦平面模块二次冷压焊使光敏芯片和读出电路实现完全互连。...
- 朱宪亮李雪黄松垒李淘邵秀梅张永刚龚海梅
- 文献传递
